Новини

У цій статті представлено останні розробки в нещодавно розробленому реакторі Hots-стіни PE1O8 HOT-стінки італійської компанії LPE та її здатності виконувати рівномірну епітаксію 4H-SIC на 200 мм SIC.

Зі зростаючим попитом на SIC в електроніці, оптоелектроніці та інших галузях, розвиток технології монокристалічного росту SIC стане ключовою сферою наукових та технологічних інновацій. Як ядро ​​обладнання для росту SIC, дизайн теплового поля буде продовжувати приділяти велику увагу та поглиблене дослідження.

Завдяки безперервному технологічному прогресу та поглибленому механізму, очікується, що гетероепітисальна технологія 3C-SIC відіграватиме важливішу роль у напівпровідниковій галузі та сприятиме розвитку високоефективних електронних пристроїв.