8-дюймове верхнє кільце епітакси з покриттям з карбіду кремнію (SiC) CVD

Основні характеристики 8-дюймового кільця SiC Epi Top Ring

● Висока чистота: мінімум 99,9995%. Метал не буде мігрувати в епі-шар. Це зберігає концентрацію носія пластини там, де вона повинна бути.

● Придушення частинок: структура CVD щільна. Без пір. Під час роботи інструменту він не виділяє частинок. Таким чином заводи отримують кращі врожаї.

● Термостійкість: кільце зберігає стабільність при 1500°C. Низький КТР (теплове розширення) означає відсутність деформації під час швидких циклів нагрівання/охолодження.

● Хімічна стабільність: твердий CVD SiC стійкий до газів H2 і HCl. Він також стійкий до NH3. Він не має покриття, яке можна зняти. Він не руйнується в суворих CVD середовищах.

● Ресурс компонента: поверхня надзвичайно тверда. Він витримує багаторазове хімічне очищення HF/HCl. Це зменшує частоту заміни. Це також знижує загальну вартість володіння фабрикою.

Технічні характеристики

Рівномірність товщини покриття між партіями контролюється на 10 мкм

Додатки

Кільце CVD SiC epi top ring широко використовується в:

● Реактори кремнієвої епітаксії (Si Epi).

● Епітаксія з карбіду кремнію (SiC Epi)

● Системи MOCVD

● Обладнання для осадження CVD

Зазвичай поєднується з:

● Суцептори

● Вафельні носії

● Розігрійте кільця

● Епітаксійні реактори

Чому VETEK SiC Epi Top Ring?

● Повна виробнича потужність: 

Від очищення сировини до точної механічної обробки та покриття CVD, VETEK контролює весь виробничий процес, щоб забезпечити стабільну якість напівпровідників.

● Висока точність: 

Ми використовуємо мікронну обробку. Товщина CVD дуже рівномірна. Завдяки цьому кожне кільце працює однаково.

FAQ

(1) Що робить верхнє кільце SiC epi top?

Кільце керує потоком тепла та газу. Це гарантує, що тонка плівка росте рівномірно по пластині.

(2) Чому CVD SiC кращий за графіт?

Графіт пористий. Графіт має пори і виділяє газ. Твердий CVD SiC щільний і чистий. Він набагато довше зберігається в корозійних інструментах.

(3). Чи можна налаштувати 8-дюймове верхнє кільце SiC?

так Ми будуємо за вашим конкретним кресленням інструменту. Ми можемо налаштувати геометрію на основі вашого процесу.

(4). У яких галузях промисловості використовуються епітаксійні кільця SiC?

Вони в основному використовуються у виробництві напівпровідників, включаючи силові пристрої, радіочастотні пристрої та виробництво пластин SiC.