Компонент стелі Aixtron G5+

Нітрид галію (GAN) - це широкий напівпровідниковий матеріал з чудовими фізичними властивостями, такими як висока рухливість електронів, електричне поле з високим поломкою та висока швидкості насичення. Він широко використовується в оптоелектронних пристроях (таких як світлодіодні діоди, лазерні діоди) та високочастотні електронні пристрої високої потужності (наприклад, підсилювачі потужності). Кремнію (SI)-це часто використовуваний напівпровідниковий матеріал підкладки з перевагами низької вартості, великого розміру та сумісності з існуючими процесами інтегрованого ланцюга на основі кремнію. Тому вирощування епітаксіальних шарів GAN на SI є дуже цінною темою дослідження. Серія Aixtron G5+-це одне з найгарячіших обладнання для росту GAN на базі SI на базі SI, яке має багато важливих компонентів, а стельова компонент-одна з важливих компонентів.

Стельовий компонент Aixtron G5+ виготовлений з графіту SGL. Основна функція полягає у контролі температури та забезпечення найнижчого теплового потоку через пластину.

 ●Контроль рівномірності температури: 

Компонент стельового компонента Aixtron G5+ допомагає досягти рівномірного розподілу температури по всій реакційній камері. У процесі епітаксіального росту напівпровідника рівномірність температури має вирішальне значення для вирощування високоякісних епітаксіальних шарів. Це гарантує, що однакова температура поверхні може бути отримана на всіх вафлях або супутникових компонентах, тим самим забезпечуючи узгодженість швидкості росту та якості епітаксіального матеріалу у всіх місцях, тим самим покращуючи вихід процесу.

 ● Оптимізуйте середовище зростання: 

У рамках реакційної камери компонент стелі Aixtron G5+ утворює стабільне середовище росту разом з іншими компонентами. Це може зменшити втрата тепла і зробити температуру в реакційній камері більш стабільною, що сприяє точно контролювати умови епітаксіального росту та зменшити дефекти епітаксіального шару та продуктивність нерівномірності, спричиненої температурними коливаннями.

Компонент стельового компонента Aixtron G5+ - це одна з основних продуктів у галузі, запущеній Vetek Semiconductor. Вибір напівпровідника Vetek означає партнерство з компанією, яка прагне просунути межі інновацій кремнієвого карбіду. З сильним акцентом на якість, продуктивність та задоволеність клієнтів, ми постачаємо продукти, яка не тільки відповідає, але перевищує суворі вимоги напівпровідникової галузі. Давайте допоможемо вам досягти більшої ефективності, надійності та успіху у ваших операціях за допомогою наших розширених компонентів Aixtron G5+ стельові компоненти.

Матеріальні дані SGL 6510 Graphite:

Це напівпровідникМагазини компонентів Aixtron G5+