Новини галузі

SIC Ceramic - це керамічний матеріал, що виробляється реакцією кремнію (СІ) та вуглецевими (С) елементами, що містять надзвичайно високу твердість, теплову стійкість та хімічну стабільність

У світі виготовлення напівпровідників, точність та стабільність-це все-і саме тут вступає електростатичний патрон (ESC) набагато більше, ніж просто інструмент для утримання, ESC використовує електростатичні сили для надійного затискача пластин під час критичних процесів, таких як травлення, осадження та імплантація іонів. Але як це насправді працює? Чому це перевершує традиційне механічне затискач? І яку роль вона відіграє у досягненні точності та ефективності пропускної здатності? Ласкаво прочитати.

Принцип дефакта електростатичного патрона є ключовою частиною його робочого процесу, який передбачає механізми елімінації електростатичної сили та вивільнення вафель.