MOCVD SiC-покриття

Технічні параметри

CVD SIC ПЛІВКА КРИСТАЛІЧНА СТРУКТУРА

Визначення та склад продукту

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor — це компонент преміум-класу з пластинами, розроблений спеціально для епітаксійної обробки напівпровідників третього покоління, таких як GaN і SiC. Цей продукт поєднує чудові фізичні властивості двох високоефективних матеріалів:

Графітова підкладка високої чистоти: Виготовлено за технологією ізостатичного пресування, щоб гарантувати, що основний матеріал має виняткову структурну цілісність, високу щільність і стабільність термічної обробки.

CVD SiC покриття: Щільний захисний шар карбіду кремнію (SiC) без стресів нарощується на поверхні графіту за допомогою передової технології хімічного осадження з парової фази (CVD).

Чому VETEK — це ваша гарантія врожаю

Неперевершена точність контролю теплової однорідності: На відміну від звичайних носіїв, токоприймачі VETEK забезпечують високосинхронізований теплообмін по всій поверхні за допомогою точного контролю товщини покриття та термічного опору нанометрового масштабу. Це складне керування температурою ефективно мінімізує стандартне відхилення довжини хвилі (STD) на поверхні пластини, значно підвищуючи як якість окремої пластини, так і загальну консистенцію партії.

Довготривалий захист із нульовим забрудненням частинками: У реакційних камерах MOCVD, що містять висококорозійні гази, звичайні графітові підставки схильні до розшарування часток. Покриття VETEK CVD SiC має виняткову хімічну інертність, діючи як непроникний щит, який закриває мікропори графіту. Це забезпечує повну ізоляцію домішок підкладки, запобігаючи будь-якому забрудненню епітаксіальних шарів GaN або SiC.

Виняткова стійкість до втоми та термін служби:Завдяки власному процесу обробки поверхні VETEK наше покриття SiC досягає оптимізованої відповідності теплового розширення з графітовою підкладкою. Навіть за високочастотного термічного циклу між екстремальними температурами покриття зберігає чудову адгезію без відшаровування та появи мікротріщин. Це значно зменшує частоту обслуговування запасних частин і знижує загальну вартість володіння.

Наша майстерня