Новини галузі

Покриття карбіду Tantalum (TAC) може значно розширити термін графітних частин, покращуючи високотемпературну стійкість, корозійну стійкість, механічні властивості та теплові можливості управління. Його високі характеристики чистоти зменшують забруднення домішки, покращують якість росту кристалів та підвищують енергоефективність. Він підходить для напівпровідникового виробництва та застосувань росту кристалів у високотемпературних, дуже корозійних середовищах.

Покриття карбіду Tantalum (TAC) широко використовуються в напівпровідниковому полі, головним чином для епітаксіальних компонентів реактора, компоненти високотемпературних промислових компонентів, обігрівачів систем MOCVD та вафельних виробників.

Під час процесу зростання епітаксіального SIC може виникнути збій підвіски, покритої SIC, покрита SIC. У цьому документі проводить суворий аналіз явища відмови графітової суспензії, що покрита SIC, що в основному включає два фактори: недостатність епітаксіального газу SIC та несправність покриття SIC.

У цій статті в основному обговорюються відповідні переваги процесу та відмінності процесу епітаксиї молекулярного променя та метало-органічних технологій осадження хімічної пари.