Новини

У статті проаналізовано конкретні проблеми, з якими стикається процес покриття CVD для росту монокристалі SIC під час напівпровідникової обробки, таких як джерело матеріалу та контроль чистоти, оптимізація параметрів процесу, адгезія покриття, підтримка обладнання та стабільність процесу, захист навколишнього середовища та контроль витрат, як а також відповідні галузеві рішення.

З точки зору застосування монокристалічного росту SIC, ця стаття порівнює основні фізичні параметри покриття TAC та покриття SIC, і пояснює основні переваги покриття TAC над покриттям SIC з точки зору високої температурної стійкості, сильної хімічної стабільності, знижених домішок та нижчі витрати.

На фабриці Fab є багато видів вимірювального обладнання. Загальне обладнання включає обладнання для вимірювання процесу літографії, обладнання для вимірювання технологічного виробництва, обладнання для вимірювання процесу тонкої плівки, обладнання для вимірювання допінгу, обладнання для вимірювання процесу CMP, обладнання для виявлення частинок пластини та інше вимірювальне обладнання.

Покриття карбіду Tantalum (TAC) може значно розширити термін графітних частин, покращуючи високотемпературну стійкість, корозійну стійкість, механічні властивості та теплові можливості управління. Його високі характеристики чистоти зменшують забруднення домішки, покращують якість росту кристалів та підвищують енергоефективність. Він підходить для напівпровідникового виробництва та застосувань росту кристалів у високотемпературних, дуже корозійних середовищах.