Новини

Чи варто інвестиції в CVD Solid SiC? Порівняйте ROI монолітного SiC із традиційним графітовим покриттям. Дізнайтеся, як чудова стійкість до плазми та розширений MTBC перетворюються на нижчі показники браку пластин і більший час безвідмовної роботи обладнання для 12-дюймових ліній HVM.

Матеріали високої чистоти необхідні для виробництва напівпровідників. Ці процеси включають сильну температуру та корозійні хімікати. CVD-SiC (Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) забезпечує необхідну стабільність і міцність. Зараз це основний вибір для деталей вдосконаленого обладнання завдяки його високій чистоті та щільності.

У світі напівпровідників з карбіду кремнію (SiC) більшість уваги приділяється 8-дюймовим епітаксіальним реакторам або тонкощам полірування пластин. Однак, якщо ми простежимо ланцюжок постачання назад до самого початку — всередині печі фізичного транспортування парів (PVT), — тихо відбувається фундаментальна «матеріальна революція».