E-Chuck з покриттям SIC

Оскільки нітрид галію (GAN) стає основним матеріалом напівпровідника третього покоління, його застосування у високочастотних, високопотужних та оптоелектронних полях продовжують розширюватися, такі як 5G базові станції зв'язку, модулі потужності та світлодіодні пристрої. Однак у виробництві напівпровідників, особливо в процесі травлення, вафлі повинні піддаватися високій температурі, високому хімічному корозійному середовищу та надзвичайно високим вимогам до точних процесів, які висунули надзвичайно високі технічні стандарти для інструментів підшипника вафель.

Керамічні піддони SIC SIC SIC Vitek розроблені для травлення GAN WAFER та пропонують високу чистоту, відмінну теплову та хімічну стійкість для підтримки вашого виробничого процесу. Він підходить для процесу травлення в плазмі (ICP/RIE) і є ідеальним вибором сучасного напівпровідникового виробничого обладнання.

Основні сили

1. Керамічний матеріал високої чистоти

Хімічна стабільність: Чистота матеріалу становить більше 99,5%, і забруднення ганів не існує.

Висока твердість і стійкість до зносу: твердість, близька до алмазу, здатна витримати високочастотне використання, невидимі зміни та подряпини.

2. Відмінні теплові показники

Висока теплопровідність, коефіцієнт теплового розширення (CTE): зменшуйте ризик розтріскування вафель у процесі травлення.

3. Супер хімічна резистентність

Він може працювати у високій концентрації фтору, хлориду та іншого корозійного газового середовища тривалий час.

4. Точна конструкція та обробка

Шорсткість поверхні та площина забезпечують гладке розміщення вафель та травлення рівномірності, щоб відповідати вимогам високої точності процесу.

Розміри, канавки, фіксовані отвори та інші структури можуть бути налаштовані відповідно до вимог клієнта.

Поле додатка E-Chuck з покриттям SIC

● Офорт у плазмі (ICP/RIE)

Він забезпечує фіксацію та підтримку вафель у високотемпературній та високій хімічній корозійній середовищі, що підходить для травлення GAN, SIC та інших матеріалів.

● Передача та зберігання вафель

Забезпечте дуже плоску та без забруднюючу платформу для захисту безпеки вафель у виробничому процесі.

Індивідуальні послуги

Це напівпровідникпропонує індивідуальні послуги для задоволення ваших конкретних потреб у процесі:

● Налаштування розміру: Розмір піддону можна налаштувати відповідно до розміру вафель (Ø4 ~ 12 дюймів).

● Оптимізація структури: Підтримка канавки, отвір для розміщення, фіксована точка та інша структура.

Це напівпровідникSIC з покриттям E-Chuck Products Shops: