SIC ICP травлення

Технологія травлення ICP (індуктивно пов'язана з плазмовим травленням) є точним процесом травлення при виробництві напівпровідників, який зазвичай використовується для високоточної та високоякісної передачі схеми, особливо придатного для травлення глибокого отвору, переробки мікропаттерів тощо

СеміконПластина для травлення ICP спеціально розроблена для процесу ICP, використовуючи високоякісні матеріали SIC, і може забезпечити відмінну продуктивність у високотемпературних, сильних корозійних та високоенергетичних середовищах. Як ключовий компонент для підшипника та підтримки,Icp etchПластина забезпечує стабільність та ефективність під час процесу травлення.

SIC ICP травленняОсобливості продукту

● Висока температура

Пластина для травлення SIC ICP може протистояти змінам температури до 1600 ° C, забезпечуючи стабільне використання у середовищі високої температури травлення ICP та уникаючи деформації або деградації продуктивності, спричиненої коливаннями температури.

●  Відмінна резистентність до корозії

Кремнієвий карбідний матеріалМоже ефективно протистояти висококорозійним хімікатам, таким як фторид водню, хлорид водню, сірчана кислота тощо, які можуть бути опромінені під час травлення, гарантуючи, що продукт не пошкоджений під час тривалого використання.

●  Низький коефіцієнт теплового розширення

Пластина для травлення SIC ICP має низький коефіцієнт теплового розширення, який може підтримувати хорошу стабільність розмірів у середовищі високої температури, зменшити напругу та деформацію, спричинені змінами температури, та забезпечити точний процес травлення.

●  Висока твердість та зношування

SIC має твердість до 9 MOHS твердість, що може ефективно запобігти механічному зносу, який може відбуватися під час процесу травлення, продовжити термін служби та зменшити частоту заміни.

● EXcellent теплопровідність

Відмінна теплопровідність гарантуєЛоток SICможе швидко розсіювати тепло під час процесу травлення, уникаючи локального підвищення температури, спричиненого накопиченням тепла, тим самим забезпечуючи стабільність та рівномірність процесу травлення.

За підтримки сильної технічної групи, Veteksemicon SIC ICP Травий лоток завершив різні складні проекти та забезпечує індивідуальну продукцію відповідно до ваших потреб. Ми з нетерпінням чекаємо вашого запиту.

Основні фізичні властивості CVD SIC: