Пористий графіт з покриттям з карбіду танталу

Напівпровідник VeTek Porous Graphite з покриттям з карбіду танталу став кристалом карбіду кремнію (SiC) завдяки своїй надвисокій термостійкості (температура плавлення близько 3880°C), відмінній термічній стабільності, механічній міцності та хімічній інертності у високотемпературному середовищі. Незамінний матеріал у процесі росту. Зокрема, його пориста структура забезпечує багато технічних переваг дляПроцес росту кристалів. 

Далі наведено детальний аналізПористий графіт з покриттям карбідуОсновна роль:

● Підвищення ефективності потоку газу та точне керування параметрами процесу

Мікропориста структура Porous Graphite може сприяти рівномірному розподілу реакційних газів (таких як карбідний газ і азот), тим самим оптимізуючи атмосферу в зоні реакції. Ця характеристика може ефективно уникнути локального накопичення газу або проблем з турбулентністю, забезпечити рівномірне навантаження на кристали SiC протягом усього процесу росту, а також значно зменшити кількість дефектів. У той же час пориста структура також дозволяє точно регулювати градієнти тиску газу, додатково оптимізуючи швидкість росту кристалів і покращуючи консистенцію продукту.

●  Зменшити накопичення теплового стресу та покращити цілісність кристалів

У високотемпературних операціях пружні властивості пористого карбіду Танталу (TAC) значно пом'якшують концентрації теплового напруження, спричинені різницею температури. Ця здатність особливо важлива при вирощуванні кристалів SIC, знижуючи ризик утворення теплової тріщини, тим самим покращуючи цілісність кристалічної структури та стабільності обробки.

●  Оптимізувати розподіл тепла та підвищити ефективність використання енергії

Покриття карбіду Tantalum не тільки надає пористому графіту більш високу теплопровідність, але і його пористі характеристики також можуть рівномірно розподіляти тепло, забезпечуючи сильно послідовний розподіл температури в межах реакції. Це рівномірне теплове управління є основною умовою для виробництва кристала SIC високої чистоти. Це також може значно підвищити ефективність нагріву, зменшити споживання енергії та зробити виробничий процес більш економічним та ефективним.

●  Підвищити резистентність до корозії та продовжити термін експлуатації компонентів

Гази та побічні продукти у високотемпературному середовищі (наприклад, водень або парова фаза карбіду кремнію) можуть спричинити сильну корозію матеріалів. Покриття TaC забезпечує чудовий хімічний бар’єр для пористого графіту, значно знижуючи швидкість корозії компонента, тим самим подовжуючи термін його служби. Крім того, покриття забезпечує тривалу стабільність пористої структури, забезпечуючи відсутність впливу на газотранспортні властивості.

●  Ефективно блокує дифузію домішок і забезпечує чистоту кристалів

Матриця, що не покривається, може випускати сліди домішок, а TAC покриття виступає як бар'єр ізоляції, щоб запобігти розповсюдженню цих домішок у кристал SIC у високотемпературному середовищі. Цей захисний ефект має вирішальне значення для покращення чистоти кристалів та сприяння задоволенню суворих вимог напівпровідникової галузі щодо високоякісних матеріалів SIC.

Пористий графіт з покриттям з карбіду танталу від VeTek semiconductor значно покращує ефективність процесу та якість кристалів шляхом оптимізації потоку газу, зменшення теплового стресу, покращення термічної однорідності, підвищення стійкості до корозії та пригнічення дифузії домішок під час процесу вирощування кристалів SiC. Застосування цього матеріалу не тільки забезпечує високу точність і чистоту виробництва, але й значно знижує експлуатаційні витрати, що робить його важливою опорою сучасного виробництва напівпровідників.

Що ще важливіше, VeTeksemi вже давно прагне надавати передові технології та продуктові рішення для промисловості виробництва напівпровідників і підтримує індивідуальні послуги з пористого графіту з покриттям з карбіду танталу. Ми щиро сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Фізичні властивості покриття карбіду Tantalum

Vitek Semiconductor Tantalum Carbide покритий пористими графітовими виробничими магазинами