Кільце попереднього нагріву

Попереднє нагрівання-це ключове обладнання, спеціально розроблене для епітаксіального (EPI) у напівпровідниковому виробництві. Він використовується для попереднього нагрівання вафель перед процесом EPI, забезпечуючи стабільність температури та рівномірність протягом усього епітаксіального зростання.

Виготовлене напівпровідником Vetek, наше попереднє теплове кільце EPI пропонує кілька помітних функцій та переваг. По -перше, він побудований з використанням високих матеріалів теплопровідності, що дозволяє швидко та рівномірно передати тепло передачі на поверхню вафель. Це запобігає утворенню гарячих точок та градієнтів температури, забезпечуючи послідовне осадження та покращення якості та рівномірності епітаксіального шару. Крім того, наше попереднє теплове кільце EPI оснащене вдосконаленою системою контролю температури, що дозволяє точно та послідовно контролювати температуру попереднього нагрівання. Цей рівень контролю підвищує точність та повторюваність вирішальних етапів, таких як ріст кристалів, осадження матеріалу та реакції інтерфейсу під час процесу EPI.

Довговічність і надійність є важливими аспектами дизайну нашої продукції. EPI Pre Heat Ring створено таким чином, щоб витримувати високі температури та робочий тиск, зберігаючи стабільність і ефективність протягом тривалого часу. Такий підхід до конструкції знижує витрати на технічне обслуговування та заміну, забезпечуючи довгострокову надійність і ефективність роботи. Встановлення та експлуатація попереднього теплового кільця EPI є простою, оскільки воно сумісне із загальним обладнанням EPI. У ньому є зручна для користувача вправа та механізм пошуку, підвищення зручності та експлуатаційної ефективності.

У Semiconductor Vetek ми також пропонуємо послуги з налаштування для задоволення конкретних вимог клієнтів. Сюди входить порахування розміру, форми та температури EPI перед тепловим кільцем для узгодження з унікальними виробничими потребами. Для дослідників і виробників, які займаються епітаксіальним ростом і виробництвом напівпровідникових пристроїв, EPI Pre Heat Ring від VeTek Semiconductor забезпечує виняткову продуктивність і надійну підтримку. Він служить критичним інструментом для досягнення високоякісного епітаксійного росту та полегшення ефективних процесів виробництва напівпровідникових пристроїв.

ДАНІ SEM ПЛІВКИ CVD SIC