TAC покриття Чак

Чак TAC -покриття Vitek Semiconductor - ідеальне рішення для досягнення виняткових результатів у процесі SIC EPI. Завдяки покриттю карбіду Tantalum, високотемпературною стійкістю та хімічною інертністю, наш продукт дає вам змогу виробляти високоякісні кристали з точністю та надійністю.

Карбід TAC Tantalum - це матеріал, який зазвичай використовується для покриття поверхні внутрішніх частин епітаксіального обладнання. Він має такі характеристики:

● Відмінна висока температура: Покриття карбіду Tantalum може витримувати температури до 2200 ° C, що робить їх ідеальними для застосувань у високотемпературних середовищах, таких як епітаксіальні камери реакцій.

● Висока твердість: Твердість карбіду Tantalum досягає приблизно 2000 р. Г., що набагато важче, ніж зазвичай використовується нержавіюча сталь або алюмінієвий сплав, що може ефективно запобігти зношенню поверхні.

● Сильна хімічна стабільність: покриття карбіду Tantalum добре працює в хімічно корозійних умовах і може значно продовжити термін служби компонентів епітаксіального обладнання.

● Хороша електропровідність: Поверхня покриття має хорошу електропровідність, яка сприяє електростатичному вивільненню та теплопровідності.

Ці властивості роблять покриття карбіду TAC Tantalum ідеальним матеріалом для виготовлення критичних деталей, таких як внутрішні втулки, стінки реакційної камери та нагрівальні елементи для епітаксіального обладнання. Закриваючи ці компоненти з TAC, можна вдосконалити загальний термін експлуатації та обслуговування епітаксіального обладнання.

Для епітаксії карбіду кремнію, шматок покриття TAC також може відігравати важливу роль. Поверхневе покриття є гладким і щільним, що сприяє утворенню високоякісних карбідних плівок кремнію. У той же час, відмінна теплопровідність TAC може допомогти покращити рівномірність розподілу температури всередині обладнання, тим самим покращуючи точність контролю температури епітаксіального процесу, і в кінцевому рахунку досягнення більш високої якостіКремнієвий карбід епітаксіальнийЗростання шару.

Ветек напівпровідникові продукти: