Керамічний електростатичний Чак

Процеси виробництва напівпровідників, особливо обробка вафель, проводяться у вакуумному середовищі, і механічні затискачі пальточки несуть 

певні ризики. Коли сила зосереджена на температурі затискання, крихкі вафлі кремнію можуть пролити крихітні фрагменти, що спричиняє серйозну шкоду виробництву вафель.

У цьому випадку керамічний електростатичний патрон стає кращим вибором, який фіксує вафлі електростатичною силою. Електростатична сила діє рівномірно на вафлі, тому пластина можна зафіксувати, підвищуючи точність процесу.

Згідно з відповідними науково -дослідними роботами, керамічний електростатичний патрон має більш сильне всмоктування, ніж інші електростатичні залози. Наприклад, керамічний електростатичний патрон має набагато сильніший всмоктування, ніж електростатичний патрон для домашніх тварин.

Чак-кераміка зазвичай виготовляється з високопродуктивних керамічних матеріалів, таких як Al2O3, ALN або SIC, які мають високу теплову стійкість, ізоляцію та корозійну стійкість. Пористий Ceramic Chuck SIC не тільки стабільний при екстремальних температурах, але й ефективно запобігає деградації кераміки від деградації внаслідок хімічних реагентів та травлення в плазмі під час виробничого процесу.

Контроль температури: Висока теплопровідність та стабільні теплові властивості керамічних матеріалів дозволяють керамічному вакууму вакууму з глиноземи для ефективного контролю температури, тим самим оптимізуючи розподіл температури під час процесу.

Вакуумна адаптованість: Керамічний електростатичний патрон підходить для вакуумних середовищ, особливо в процесах травлення низького тиску та високої точної терапії.

Низьке генерація частинок: Пористий керамічний E-Chuck SIC має гладку поверхню, яка може зменшити забруднення частинок під час фіксації вафель та допомогти покращити вихід продукту.

Застосування: В основному використовується у напівпровідниковому виробництві, знімному керамічному електростатичному патруху, що забезпечує точне позиціонування та стабільність, що дуже корисно для літографії, травлення та інших процесів обробки пластини напівпровідників. Переконайтесь, що вафля є неушкодженою під час переробки та покращує якість виробництва мікросхем.

Це напівпровідникКерамічні виробничі магазини електронних чаків: