Вакуум Чак

Застосування: 

Вакуум з високою ефективністю створюється для точної адсорбції та твердої фіксації вафель та злитків. Він добре підходить для ситуацій, включаючи напівпровідникове виробництво, різання вафель, точність обробки, високу температуру епітаксії, травлення та іонну імплантацію.

Основні параметри:

● Регульована пористість (коливається від 10 до 200 мкм).
● здатний протистояти ультра - високих температур (до ≤1600 ° C) та виявляти відмінну стійкість до теплового удару.
● Адсорбційна вакуум: стандарт - 90 кПа (настроюється для досягнення 100 кПа).

● Розміри присоски чашки: можуть підтримувати пластинки 4/6/8/12 - дюймові пластинки, а розмір злиття може бути адаптований відповідно до конкретних потреб.

Ⅰ. Опис

Керамічний вакуумний Чак з Viteksemicon використовує комбіновану структуру пористої кераміки та металевого зовнішнього кільця. Завдяки персоналізованій конструкції повітряних каналів та пор він реалізує рівномірне розподіл адсорбційної сили та високої стабільності. Цей патрон підходить для напівпровідникового виробництва, різання вафель, точної обробки тощо. Він може працювати з високою температурою та високими налаштуваннями руху швидкості та відповідає вимогам сумісності вафель/злитків у різних розмірах.

Ⅱ. Основна структура та переваги матеріалів

Багатошаровий композитний макет:

✔ поверхневий шар: Зроблено з пористої кераміки (ви можете вибрати між пористою карбідом кремнію або пористою графітом). Діаметр пор може бути відрегульований (10 - 200 мкм), що гарантує, що сила адсорбції рівномірно переноситься на поверхню пластину, тим самим запобігаючи накопиченню місцевого стресу - вгору.

✔ Матриця: Складається з сильно жорсткої металевої рами (або нержавіючої сталі, або алюмінієвого сплаву), щоб запропонувати конструкційну підтримку та повітряну спроможність.

✔ Дихальні шляхи та пори: Точно оброблені внутрішні дихальні шляхи утворюють мережу, а також рівномірно розташовані мікропори. Ця установка підтримує швидке видобуток вакууму (сила адсорбції може досягти до 90 кПа) та миттєвого випуску.

Ⅲ . Порівняння МАТеріальні характеристики

1. Порівняння матеріальних властивостей

2. Сценарії та випадки застосування

✔ Напівпровідник Fabricatio

Епітаксіальне зростання: він може міцно адсорбувати вафлі при високих температурах, заважаючи вафлям викривляти та забруднюватися.

Літографія та травлення: це дозволяє точно розташувати на платформах високої швидкості (прискорення ≤10G), забезпечуючи точність графічного вирівнювання.

✔ Обробка злиття

Розрізання та шліфування: воно може адсорбувати важкі злитки (наприклад, сапфір та кремнію - злитки карбіду), зменшення розтріскування краю через вібрацію.

✔ Наукові дослідження та спеціальні технології

Високий - температурний відпал: пористий кремній - присоски карбіду можуть працювати безперервно при 1600 ° С без деформації або вентиляції забруднення.

Вакуумне покриття: з високою конструкцією повітряної - герметичності, воно може адаптуватися до середовища порожнини PVD/CVD.

3. Індивідуальна послуга

✔ Ми пропонуємо налаштування для розміру та навантаження.

✔ Протити та дихальні шляхи можуть бути оптимізовані для задоволення конкретних вимог.

✔ Він може бути адаптований до спеціальних середовищ.

Ⅳ. FAQ:

Як вакуумні залози досягають багаторозмірної сумісності вафель (наприклад, 12/8/6 ")?

З: Як один патрон вписується в 12-дюймову, 8-дюймову та 6-дюймову вафлі? Чи потрібна фізична реструктуризація?

A:Багатовимірна сумісність за допомогою адаптивних дихальних шляхів та роздинок:

✔ Динамічний контроль у стомах: Прохит на поверхні присоски розподіляються в області кільця, а повітряний контур у різних областях керує зовнішнім клапаном.

Наприклад, при поглинанні 8-дюймової пластини ввімкнено лише пори в центральній зоні, а зовнішні пори закриті (щоб уникнути витоку сили адсорбції).

✔ Гнучкий дизайн дихальних шляхів: Мережа портів має модульний макет, який відповідає крайовим профілям вафель різного розміру, щоб забезпечити рівномірне покриття сили адсорбції. і Переваги такі як наступні:

Заміна нульових апаратних засобів: Не потрібно видаляти або замінювати присосну чашку через програмне забезпечення або перемикач газового клапана, може бути адаптований до різних розмірів.

Економія витрат: зменшити витрати на реконструкцію обладнання та простої та збільшити гнучкість виробничої лінії.