Посібник з покриття TAC

Функція кілець для покриття TAC:

Точне управління потоком газу:Посібник з покриття TACстратегічно розміщується в системі впорскування газуРеактор MOCVD. Основна його функція полягає у спрямуванні потоку газів -попередників та забезпечення їх рівномірного розподілу по поверхні вафельної підкладки. Цей точний контроль за динамікою потоку газу має важливе значення для досягнення рівномірного росту епітаксіального шару та бажаних властивостей матеріалу.

Теплове управління: Кільці з покриттям TAC часто працюють при підвищеній температурі через їх близькість до нагрітого диператора та підкладки. Відмінна теплопровідність TAC допомагає ефективно розсіювати тепло, запобігаючи локалізованому перегріву та підтримці стабільного температурного профілю в зоні реакції.

Переваги TAC в MOCVD:

Екстремальна температура: TAC може похвалитися однією з найвищих точок плавлення серед усіх матеріалів, що перевищує 3800 ° C.

Видатна хімічна інертність: TAC виявляє виняткову стійкість до корозії та хімічної атаки від реактивних попередників газів, що використовуються в MOCVD, таких як аміак, силан та різні металоорганічні сполуки.

Фізичні властивостіTAC покриття:

Переваги для продуктивності MOCVD:

Використання кілець з покриття для покриття TAC Vetek в обладнанні MOCVD значно сприяє:

Збільшення роботи обладнання: Довговічність та тривалий термін експлуатації кільця для покриття TAC зменшують потребу в частих замінах, мінімізації часу обслуговування та максимізації операційної ефективності системи MOCVD.

Підвищена стабільність процесу: Теплова стійкість та хімічна інертність ТАС сприяють більш стабільному та контрольованому реакційному середовищі в камері MOCVD, мінімізуючи зміни процесу та покращуючи відтворюваність.

Вдосконалена рівномірність епітаксіального шару: Точне управління потоком газу, полегшеного кілець на посібнику з покриття TAC, забезпечує рівномірний розподіл попередників, що призводить до високо рівномірногоЗростання епітаксіального шаруз послідовною товщиною та складом.

Покриття карбіду Танталум (TAC)на мікроскопічному перерізі: