Запасна частина покриття TAC

Це напівпровідникТАС- це спеціальний матеріал, широко використовується внапівпровідникпроцес виробництва. У поєднанні з високою твердістю та стійкістю до зносу, високою температурною стійкістю, корозійною стійкістю, коефіцієнтом низького тертя та хорошою теплопровідністю, пластина з покриттям TAC відіграє незамінну роль у багатьох зв’язках напівпровідникової обробки.

Як правило, заявкиТакоди з покриттямУ напівпровідниковій обробці є наступним чином:

● Субстрат росту CVD/ALD: Висока температура, хімічна стабільність та низький коефіцієнт тертя пластини з покриттям TAC роблять їх ідеальними субстратами росту CVD/ALD. Він може забезпечити стабільне середовище росту для забезпечення рівномірності та щільності плівки.

●  Пластина для травлення: Висока твердість та корозійна стійкість пластинів з покриттям TAC дозволяють їм витримувати високоенергетичні процеси, такі як травлення плазми, як травлення маски, захищаючи основну плівку.

●  CMP Pilling Pad: Стійкість до зносу та низький коефіцієнт тертя плит з покриттям TAC роблять їх ідеальними матеріалами для полірувальних прокладок CMP, які можуть ефективно видалити частинки та дефекти на поверхні плівки.

●  Високотемпературна трубка для печі: Високотемпературна стійкість та корозійна стійкість плит з покриттям TAC дозволяють використовувати їх як трубки печі у високотемпературних печах для відпалу високого температури, дифузії та інших процесів.

Технічні параметри покриття CVD TAC：

Vitek Semiconductor TAC покриття Запасні продукти Магазини продуктів：