Послуги з очищення графітових деталей із покриттям CVD SiC

1. Проблеми, з якими ви можете зіткнутися

• Важко видалити шар AlN:Термічне очищення при 1300 °C все ще не може ефективно протравлювати залишковий шар AlN.

• Повторюваний ефект пам'яті:Ефект поверхневої пам’яті викликає нестабільний потік газу в реакторі, що впливає на послідовність процесу.

• Цикл очищення Impacts Пропускна здатність:Зазвичай кожні 16 технологічних циклів (4–5 токоприймачів) потребують зовнішнього очищення.

• Занепокоєння щодо пошкодження дорогого покриття:Відсутність внутрішнього досвіду хімічного очищення змушує операторів вагатися щодо спроб агресивного очищення.

2. Наше рішення – призначене для процесів GaN / AlN / AlGaN

• Професійне прибирання:Індивідуальний процес, спеціально розроблений для CVD деталей з графіту SiC. Хімічна формула від клієнта не потрібна.

• Безпека покриття:Суворо захищає покриття CVD SiC товщиною 100 мкм. Абсолютна нульова втрата товщини після очищення.

• Перевірені результати:Повний сертифікат аналізу (COA), що охоплює п'ять основних параметрів. Дані готові до архіву та перевірки якості.

3. П'ять основних критеріїв прийняття

Суворо відповідає критичним вимогам користувачів напівпровідникової епітаксії:

1. Нульова втрата покриття– Товщина покриття SiC ніколи не зменшується після очищення (перевірка порівняння товщини до/після).

2. Відсутність деформації поверхні– Площинність і геометрична точність суворо перевіряються, щоб гарантувати відсутність фізичної деформації.

3. Усунення ефекту пам'яті– XPS-аналіз на залишковий вміст Al/Ga підтверджує ретельне видалення джерел ефекту пам’яті.

4. Нуль металевих залишків– Тестування ICP-MS на Fe, Cu, Ni та інші метали підтверджує відсутність залишкових металевих домішок.

5. Без зайвих частинок– Тест на частинки QIII плюс перевірка чистоти запобігають нестабільності потоку газу, спричиненій залишковими частинками.

4. Перевірка доставки та звіт про сертифікат автентичності

Кожна партія постачається з повними даними перевірки за п’ятьма основними параметрами:

5. Застосовувані продукти та передумови процесу

Параметри продукту

Процес обслуговування

1. Запит– Надішліть фотографії деталей/модель/кількість для оцінки.

2. Котирування– Технічна оцінка та детальна пропозиція очищення з ціновою пропозицією.

3. Доставка– Надішліть нам запчастини або організуйте послугу самовивезення.

4. Прибирання– Професійне прибирання + повний багатовимірний огляд.

5. Доповідь– Випущено сертифікат автентичності та повернуто очищені частини.

6. Подальші дії– Відстеження ефекту та постійна технічна підтримка.

6. Чому варто обрати клінінговий сервіс ВЕТЕК?

VETEK поєднує глибокий досвід у технології покриття CVD SiC зі спеціалізованими можливостями очищення дорогоцінних графітових токоприймачів. Ми розуміємо критичну важливість цілісності покриття, контролю частинок і чистоти процесу в епітаксії GaN/AlN. Наші послуги призначені для клієнтів, яким потрібна абсолютна безпека дорогих CVD-покриттів SiC, одночасно повністю вирішуючи проблеми з ефектом пам’яті та нестабільністю газового потоку.

· Пробне очищення доступне для перевірки невеликих партій

· Повний звіт COA надається разом із кожною поставкою

· Нульовий ризик пошкодження покриття або нового забруднення

· Професійний · Безпечний · Піддається перевірці