CVD SIC Покриття Графітовий дицептор

CVD SIC COANT GRAPHITE HERCEPTOR спеціально розроблений для високоточного виробництва в напівпровідниковій галузі. Графітова субстрат покрита високоочистом SIC-шару за допомогою процесу ССЗ, який має відмінну високу температуру, стійкість до корозії та стійкість до окислення, і може тривалий час працювати в умовах високої температури та вакууму. Цей п’єдестал широко використовується в MOCVD, PECVD, PVD та іншому обладнанні для підтримки обробки та обробки вафель та інших високоточних матеріалів.

Основні переваги:

● Висока стабільність температури: Сам графіт високої чистоти має чудову термічну стійкість. Після покриття покриттям SIC він може витримувати більш високі температури екстремальних середовищ і підходить для високотемпературних процесів при обробці напівпровідників.

● Куточокіонна стійкість: CVD SIC покриття стійке до корозії кислоти та лугу і може мати тривалий термін служби в процесі ССЗ.

● Високий годARDNESS та ОКСИДАЦІЯ: CVD SIC покриття має чудову твердість, стійкість до подряпин та стійкість до окислення при високих температурах для підтримки стабільності матеріалу.

● Хороша теплопровідність: Поєднання графітового підкладки та CVD SIC покриття, що має основу, робить чудову теплопровідність, яка може ефективно проводити тепло та підвищити ефективність виробництва.

Технічні характеристики продукту:

● Матеріал: Графітова підкладка + CVD SIC покриття

● Товщина покриття: можна налаштувати відповідно до потреб клієнта

● Застосовне середовище: Висока температура, вакуум, корозійне газове середовище

Індивідуальна послуга:

Ми надаємо високо налаштовані послуги для задоволення потреб різного обладнання та процесів клієнтів. Відповідно до конкретного застосування замовника, можуть бути забезпечені графітові основи з різною товщиною покриття, поверхневими обробками та точністю.

Veteksemi завжди працював у галузі покриття карбіду кремнію CVD і має провідний галузевий CVD SIC покриття графітової базової бази та рівня виробництва. Якщо вам потрібна більше інформації про товар або індивідуальні послуги, будь ласка, зв'яжіться з напівпровідником Vetek, ми від усієї душі надамо вам професійну підтримку.

Дані SEM щодо CVD SIC плівкової кристалічної структури:

Це напівпровідникCVD SIC Покриття Графіт Сприцепторів продуктів: