Графітове кільце з покриттям CVD TaC

Загальна інформація про товар

Умови комерційної діяльності продукту

застосування: Veteksemicon CVD TaC Coated Ring спеціально розроблено дляПроцеси росту кристалів SiC. Будучи ключовим компонентом, що несуть навантаження у високотемпературній реакційній камері, його унікальне покриття TaC ефективно ізолює корозію парів кремнію, запобігає забрудненню домішками та забезпечує структурну стабільність у довготривалих високотемпературних середовищах, забезпечуючи надійну гарантію для отримання високоякісних кристалів.

Послуги, які можуть бути надані: аналіз сценарію заявки клієнта, підбір матеріалів, вирішення технічних проблем.

Профіль компаніїe：Veteksemicon має 2 лабораторії, команду експертів з 20-річним досвідом роботи з матеріалами, з можливостями науково-дослідних розробок, виробництва, тестування та перевірки.

Мій суперник CVD TaC Coated Ring — це основний витратний матеріал, призначений для високотемпературного хімічного осадження з парової фази та росту кристалів передових напівпровідникових матеріалів, зокрема карбіду кремнію. Ми використовуємо унікальну оптимізовану технологію хімічного осадження з парової фази для щільного однорідного нанесенняпокриття з карбіду танталуна підкладці з графіту високої чистоти. Завдяки винятковій стійкості до високих температур, чудовій стійкості до корозії та надзвичайно тривалому терміну служби цей продукт ефективно захищає якість кристалів і значно знижує загальні виробничі витрати, що робить його важливим вибором для процесів, які вимагають стабільності процесу та найвищого виходу.

Технічні параметри:

Переваги ядра Veteksemicon CVD TaC Coated Ring

Неперевершена чистота і стабільність

В екстремальних умовах росту кристалів SiC, де температури перевищують 2000°C, навіть сліди домішок можуть зруйнувати електричні властивості всього кристала. нашCVD TaC покриття, завдяки своїй винятковій чистоті, принципово усуває забруднення кільця. Крім того, його чудова високотемпературна стабільність гарантує, що покриття не розкладається, не випаровується та не реагує з технологічними газами під час тривалого високотемпературного та теплового циклу, забезпечуючи чисте та стабільне парофазове середовище для росту кристалів.

Відмінна стійкість до корозії тастійкість до ерозії

Корозія графіту парами кремнію є основною причиною поломки та забруднення частинками традиційних графітових кілець. Наше покриття TaC із надзвичайно низькою хімічною реакцією з кремнієм ефективно блокує пари кремнію, захищаючи графітову підкладку від ерозії. Це не тільки значно подовжує термін служби самого кільця, але, що більш важливо, значно зменшує кількість твердих частинок, які утворюються внаслідок корозії та розколювання підкладки, безпосередньо покращуючи продуктивність росту кристалів і внутрішню якість.

Чудові механічні характеристики та термін служби

Покриття TaC, утворене за допомогою процесу CVD, має надзвичайно високу щільність і твердість за Віккерсом, що робить його надзвичайно стійким до зношування та фізичного впливу. У практичному застосуванні наша продукція може подовжити термін служби в 3-8 разів порівняно з традиційними графітовими кільцями або кільцями з піролітичним вуглецем/карбідом кремнію. Це означає менший час простою для заміни та більш високий рівень використання обладнання, значно знижуючи загальну вартість виробництва монокристалів.

Відмінна якість покриття

Ефективність покриття значною мірою залежить від його однорідності та міцності зчеплення. Наш оптимізований процес CVD дозволяє нам досягти високорівномірної товщини покриття навіть на кільцях найскладнішої геометрії. Що ще важливіше, покриття утворює міцний металургійний зв’язок із графітовою підкладкою високої чистоти, ефективно запобігаючи відшарування, розтріскування або відшаровування, викликане різницею в коефіцієнтах теплового розширення під час швидких циклів нагрівання та охолодження, забезпечуючи безперервну надійну роботу протягом усього життєвого циклу виробу.

Підтвердження перевірки екологічного ланцюга

Перевірка екологічного ланцюга Veteksemicon CVD TaC Coated Ring охоплює сировину для виробництва, пройшла сертифікацію за міжнародними стандартами та має низку запатентованих технологій для забезпечення надійності та стійкості у напівпровідниковій та новій енергетиці.

Будь ласка, щоб отримати докладні технічні специфікації, офіційні документи або зразки домовленостей про тестуваннязверніться до нашої служби технічної підтримкищоб дослідити, як Veteksemicon може підвищити ефективність ваших процесів.