Висока чистота кварцовий тигель

Кварцовий тигель з високою чистотою, що надається платформою Veteksemicon, виготовлений з ультра-високої чистоти синтетичного сплавленого кварцу. Вміст SIO2 у вибраній кварцовій сировині зазвичай може досягати 99,998% або навіть вище (4N8). Завдяки вмісту вмісту плавлення та лиття вміст домішки мінімізується, особливо іони металів (наприклад, Na, K, Li, Fe, Al, CA тощо) та вміст гідроксилу, шкідливі для напівпровідникових процесів.

Цей кварцовий тигель призначений для роботи в умовах високої температури для забезпечення низької забруднення, високої міцності та хорошої сумісності з ростом кристалів та обробкою вафель.

Ⅰ. Основні програми в процесах виробництва напівпровідників

Кварцові тиглі з високою чистотою відіграють життєво важливу роль у багатьох ключових процесах виготовлення напівпровідників з їх унікальними фізичними властивостями:

1. Зростання монокристалічного кремнію (процес Чокральського - CZ)

Використання: У процесі росту монокристалічного кремнію методом Чокральського, кварцові картинки з високою чистотою є основними контейнерами для розплавленого кремнію. На якість та чистоту кремнієвих стрижнів безпосередньо впливають тигальний матеріал.

Відмінні фізичні властивості:

● Ультра-висока чистота: виготовлена ​​з кварцового матеріалу з високою чистотою, він забезпечує надзвичайно низьку опадню не домішки та уникає забруднення монокристалічного кремнію, що має вирішальне значення для виготовлення високо інтегрованих та високоефективних напівпровідникових пристроїв. Домішки, такі як лужні метали та важкі метали, можуть стати пастками -носіями або розсіюючими центрами, серйозно впливаючи на електричні властивості пристрою.

● Відмінна висока температурна стійкість: кварцовий матеріал має високу температуру плавлення (близько 1700 ∘c), може витримати надзвичайно високу температуру розплавленого кремнію (близько 1420 ∘c) і тривалий час працювати без деформації або пом'якшення.

● Хороша термостійкість: При високих температурах коефіцієнт теплового розширення надзвичайно низький, що може ефективно протистояти тепловому напрузі та уникнути розтріскування під час нагрівання та охолодження, тим самим забезпечуючи стабільність та безпеку процесу.

● Хімічна інертність: вона має хорошу хімічну інертність розплавленому кремнію, нелегко реагувати з кремнієм, зменшує введення домішок та карбонізації кремнію та забезпечує чистоту кристалів кремнію.

2. Полікристалічний кастинг з укриттям кремнію

Застосування: У процесі відливу полікристалічної кремнію кремнію, кварцу з високою чистотою використовуються як контейнери для розплавленого полікристалічного кремнію для лиття фотоелектричних або електронних сортів полікристалічних кремнію.

Відмінні фізичні властивості:

● Термічний ударний стійкість: вона може підтримувати структурну цілісність навіть у циклах швидкого нагрівання та охолодження, щоб уникнути розтріскування, спричинених раптовими змінами температури.

● Розмірна стабільність: точний розмірний контроль та стабільність форми є важливими для лиття полікристалічних кремнієвих злитків, які відповідають вимогам специфікації.

3. Інші високотемпературні програми

Використання: У виробництві напівпровідників багато високотемпературних процесів печі, таких як дифузія, окислення, відпал тощо, часто використовують кварцові контейнери як накладки або носії для збереження процесу процесу в чистоті та стабільності.

Ⅱ. Переваги високої чистоти Кварца

Veteksemicon прагне забезпечити високоякісні продукти для напівпровідникової галузі. Наші кварцові вигадки високої чистоти мають такі переваги:

● Гарантія ультрасвисокої чистоти: Суворий контроль сировини та виробничих процесів, щоб забезпечити, щоб продукт досягла напівпровідникової ультра-високої чистоти та мінімізує ризик забруднення процесу.

● Відмінна міцність: Відмінна термічна стійкість та механічна міцність, продовження терміну експлуатації продукції та зменшення виробничих витрат.

● Індивідуальна послуга: Індивідуальні тисні рішення різних розмірів, форм та специфікацій можуть бути надані відповідно до ваших потреб у процесі.

Склад продуктів Viteksemicon