Кварцове кільце високої чистоти

1.Основні характеристики та переваги

• Напівпровідниковий дегідроксильований плавлений кварц із SiO₂ ≥ 99,999% і жорстко контрольованими металевими домішками

• Стабільна безперервна робота до 1100 °C, з короткочасною можливістю близько 1200 °C

• Висока стійкість до хімікатів травлення на основі фтору та хлору та впливу високоенергетичної плазми

• Низьке теплове розширення та хороша стійкість до теплового удару під час повторюваних температурних циклів камери

• Низьке вакуумне виділення газу для захисту базового тиску камери та складу технологічного газу

• Контроль розмірів на мікронному рівні з полірованими контактними поверхнями для узгодженого підгонки камери та визначення межі плазми

• Конструкції, що налаштовуються: плоскі кільця, ступінчасті кільця для травлення, фіксуючі/утримуючі кільця та повністю спеціальні профілі для основних платформ інструментів для травлення

2.Типові застосування

Кварцові травильні кільця високої чистоти використовуються в камерах сухого плазмового травлення для:

• Етапи плазмового травлення логіки та пристрою пам'яті

• Процеси травлення силовими пристроями SiC і GaN

• Травлення структури з високим співвідношенням сторін

• Плазмова обробка оптичних і компаунд-напівпровідникових підкладок

• Розширене плазмове травлення упаковки та відповідні етапи очищення

• RIE / ICP лабораторні та виробничі інструменти травлення

3.Основні технічні параметри

• Матеріал: напівпровідниковий дегідроксильований плавлений кварц, SiO₂ ≥ 99,999%

• Сумісність з пластинами: кремній 2/4/6/8/12 дюймів, SiC, GaN і сапфір

• Робоча температура: від −20 °C до 1100 °C безперервно; короткочасний пік приблизно 1200 °C

• Основні функції: утримання краю плазми, спрямування газового потоку, захист краю та ізоляція камери

• Якість обробки: мікронні допуски, поліровані поверхні, контрольовані краї та чиста обробка

• Варіанти структури: плоске кільце, ступінчасте кільце для травлення, установочне/утримуюче кільце та спеціальні геометрії

• Налаштування: зовнішній/внутрішній діаметр, товщина, висота сходинки, елементи розташування, фаски та деталі інтерфейсу за кресленням

4.Чому варто вибрати кварцові кільця високої чистоти VeTek?

VeTek Semiconductor постачає важливе кварцове обладнання для травильних і термічних інструментів. Для гравованих кілець увага приділяється:

• Чистота матеріалу та чистота поверхні підходять для сучасних середовищ сухого травлення

• Точність розмірів, яка підтримує стабільний контроль межі плазми та повторювану посадку камери

• Гнучкість конструкції для заміни OEM-стилю та повністю індивідуальних інтерфейсів камери

• Повний асортимент кварцових компонентів, який також включає підставки для пластин, труби для печей, човни та супутні технологічні частини

Поєднуючи високу чистоту, стійкість до плазми та жорсткий контроль геометрії, кільця VeTek High Purity Quartz Etch Rings допомагають покращити рівномірність травлення поперек пластин, зменшити дефекти, пов’язані з краями, і підтримувати більш тривалі та стабільні виробничі цикли в інструментах сухого плазмового травлення.