Кварцова розподіл газу

Кварцові таблички з розподілу газу, також відомі як кварцові душові головки, є критичними компонентами у виготовленні напівпровідників. Використовуючи виняткову чистоту, високотемпературну опір та корозійну стійкість кварцу, ці пластини забезпечують рівномірний і стабільний потік технологічних газів на поверхню вафель. Ця точна доставка має важливе значення для підтримки якості та рівномірності депонованих плівок або травлених функцій.

Основні особливості зрощеного кварцу з високою чистотою

● Матеріал: 99,99%плавленого кварцу з високою чистотою

● Високотемпературна стійкість: Витримує температуру вище 1000 ℃

● Корозійна стійкість: Відмінна довговічність проти технологічних газів та плазмового середовища

● Точний потік газу: Рівномірний розподіл мікро-лунок для оптимальної доставки газу та рівномірності осадження

● настроюється дизайн: Розмір, малюнок отвору та кріплення можуть бути розроблені для конкретних моделей обладнання

Основні ролі у виробництві напівпровідників

1. Фізичне осадження пари (PVD) та хімічне осадження пари (CVD)

Роль: У процесах PVD та CVD пластина розподілу газу точно спрямовує реактивні гази (наприклад, силан, аміак, кисень) або попередники на вафлі, щоб утворити бажану тонку плівку.

Конкретне використання:

● Контроль рівномірності: Точно інженерні мікро-отвори пластини забезпечують те, що потік та концентрація газу є рівномірними по всій поверхні вафлі. Це важливо для осадження плівок з постійною товщиною та продуктивністю.

● Профілактика забруднення: Висока чистота кварцу заважає пластину реагувати з технологічними газами або вивільняти домішки. Це підтримує чистоту фільму та запобігає дефектам поверхні вафель.

2. Хімічне осадження пари, посилене плазмою (PECVD)

Роль: У PECVD кварцовий душ не тільки забезпечує реактивні гази, але й функціонує як електрод для генерації плазми.

Конкретне використання:

● Плазмовий запалювання: душ, як правило, підключається до радіочастотного (RF) джерела живлення для генерації плазми. Високоенергетичні частинки в плазмі сприяють розкладенню газоподібних реагентів, що дозволяє осадити плівку при менших температурах.

● Теплова стійкість: Кварц виявляє чудову термічну стійкість, що дозволяє йому протистояти високотемпературному плазмовому середовищу. Це допомагає підтримувати рівномірну температуру в процесі процесу, що надалі забезпечує якість та послідовність плівки.

3. Сухе травлення

Роль: У сухому травленні пластина розподілу газу вводить реактивні трави (наприклад, фторукбони, хлор) у камеру травлення.

Конкретне використання:

● Оцінка рівномірності: пластина забезпечує рівномірний потік та концентрацію травтних газів, що гарантує послідовну глибину травлення та профілю по всій вафлі. Це має вирішальне значення для досягнення точних моделей, необхідних для передових напівпровідникових пристроїв.

● Корозійна стійкість: сильні корозійні властивості газів травлення потребують міцного матеріалу. Висока корозійна стійкість кварцу розширює термін експлуатації душової головки і зменшує ризик перебоїв у процесі.

4. Чистка пластини

Роль: У специфічних процесах очищення пластини використовується кварцова пластина розподілу газу для доставки очисних газів (наприклад, озону, аміаку) рівномірно до поверхні пластини для видалення залишків або забруднень.

Конкретне використання:

● Послідовне очищення: тарілка забезпечує, щоб очищення газів досягала кожної частини вафлі, що дозволяє ретельний і рівномірний процес очищення.

● Хімічна сумісність: Сумісність кварцу з широким спектром хімічних речовин очищення запобігає реакціям та підтримує чистоту та ефективність процесу очищення.