Епірецептор із покриттям SiC

Ви можете бути впевнені, що купують з нашої фабрики SIC з покриттям EPI.

Ветек напівпровідник SIC з покриттям EPI EPI є епітаксіальним бочкою - це особливий інструмент для напівпровідникового процесу епітаксіального росту з багатьма перевагами:

● Ефективна виробнича потужність: Epi Susceptor SiC Coated від VeTek Semiconductor може вміщувати кілька пластин, що дає змогу виконувати епітаксіальне зростання кількох пластин одночасно. Ця ефективна виробнича потужність може значно підвищити ефективність виробництва та скоротити виробничі цикли та витрати.

● Оптимізований контроль температури: Сприцептор EPI з покриттям SIC оснащений вдосконаленою системою контролю температури, щоб точно контролювати та підтримувати бажану температуру росту. Стабільний контроль температури допомагає досягти рівномірного росту епітаксіального шару та покращити якість та послідовність епітаксіального шару.

● Рівномірний розподіл атмосфери: Сприцептор EPI з покриттям SIC забезпечує рівномірний розподіл атмосфери під час росту, гарантуючи, що кожна вафля піддається одних і тих же умовах атмосфери. Це допомагає уникнути відмінностей росту між вафлями та покращує рівномірність епітаксіального шару.

● Ефективний контроль домішок: Дизайн чутки EPI з покриттям SIC допомагає зменшити введення та розповсюдження домішок. Він може забезпечити хорошу герметизацію та контроль атмосфери, зменшити вплив домішок на якість епітаксіального шару та, таким чином, підвищити продуктивність та надійність пристрою.

● Розробка гнучкого процесу: Сприцептор EPI має гнучкі можливості розробки процесів, які дозволяють швидко коригувати та оптимізувати параметри росту. Це дозволяє дослідникам та інженерам проводити швидку розробку та оптимізацію процесів для задоволення потреб епітаксіального зростання різних застосувань та вимог.