Центр колекціонерів покриття SIC

Центр колекціонера покриття SIC Collector SIC відіграє важливу роль у виробництві процесу напівпродукторного EPI. Це одна з ключових компонентів, що використовуються для розподілу та контролю газу в епітаксіальній реакційній камері.SIC покриттяіTAC покриттяна нашій фабриці.

Роль Центру колекціонера покриття SIC полягає в наступному:

● Розподіл газу: Центр колектора покриття SIC використовується для введення різних газів у камеру епітаксіальної реакції. Він має кілька входів та торгових точок, які можуть розподіляти різні гази у потрібні місця для задоволення конкретних потреб епітаксіального зростання.

● Контролювати газ: Центр колектора покриття SIC досягає точного контролю кожного газу через клапани та пристрої управління потоком. Цей точний контроль газу має важливе значення для успіху епітаксіального процесу зростання для досягнення бажаної концентрації газу та швидкості потоку, забезпечуючи якість та послідовність плівки.

● рівномірність: Конструкція та макет центрального збору газу допомагає досягти рівномірного розподілу газу. За допомогою розумного шляху потоку газу та режиму розподілу газ рівномірно змішується в епітаксіальній реакційній камері, щоб досягти рівномірного зростання плівки.

У виробництві епітаксіальних продуктів Центр колекціонера покриття SIC відіграє ключову роль у якості, товщині та рівномірності плівки. Завдяки належному розподілу та контролю газу, Центр колекторів покриття SIC може забезпечити стабільність та послідовністьПроцес епітаксіального росту, щоб отримати якісні епітаксіальні фільми.

Порівняно з графітовим колекторним центром, Collector Center Collector SIC - це покращення теплопровідності, підвищеної хімічної інертності та вищої резистентності до корозії. Покриття карбіду кремнію значно підвищує здатність теплового управління графітовим матеріалом, що призводить до кращої рівномірності температури та послідовного зростання плівки в епітаксіальних процесах. Крім того, покриття забезпечує захисний шар, який чинить опір хімічній корозії, продовжуючи тривалість життя графітових компонентів. Загалом,кремнієвий карбідГрафітовий матеріал пропонує чудову теплопровідність, хімічну інертність та резистентність до корозії, забезпечуючи підвищену стабільність та високоякісне зростання плівки в епітаксіальних процесах.

CVD SIC плівкова структура:

Основні фізичні властивості покриття CVD SIC

Це напівпровідникЦентр колекціонерів покриття SICВиробничий магазин