Покриття з карбіду кремнію

Ветерсисем, що покривають пластинки Viteksemicon, є передовим рішенням для напівпровідникових епітаксіальних процесів, що пропонує ультра-високу чистоту (≤100ppb, сертифікат ICP-E10) та виняткову термічну/хімічну стабільність для строківців, стійких до строків, що стверджують, що росту GAN, SIC та кремнію. Проектувавши за допомогою точної технології ССЗ, він підтримує вафлі 6 ”/8”/12 ”, забезпечує мінімальне теплове напруження та витримує екстремальні температури до 1600 ° C.

Наш планетарнийсиптор з покриттям SIC є основним компонентом у високотемпературному процесі виробництва напівпровідників. Його конструкція поєднує графітну підкладку з кремнієвим карбідним покриттям для досягнення комплексної оптимізації продуктивності термічного управління, хімічної стійкості та механічної міцності.

Наше герметичне кільце з покриттям для епітактики-це високопродуктивна герметична компонент, заснована на графітових або вуглецевих карбідах, покриті карбідом з високою чистотою (SIC) за допомогою хімічної пари (CVD), який поєднує термічну стабільність графіту з екстремальною екологічною стійкістю SIC та розроблене для Semiconductor Epitaxial Hearfital.g.

Графітовий епізцептор EPI EPI EPI EPI призначений для високоефективного карбіду кремнію (SIC), нітриду галію (GAN) та інших епітаксіальних процесів третього покоління, і є основним компонентом високоточного епітаксіального листа в масовому виробництві.

Важливим компонентом, що використовується в процесі виготовлення вафельних виробів, є фокусне кільце для травлення в плазмі, функція якого полягає в тому, щоб утримувати вафлі на місці для підтримки щільності плазми та запобігання забрудненню пласторових боків. Верник напівпровідника для травлення в плазмі з різним матеріалом, як монокристалічний кремній, карбід кремнію, карбід бору та ін.

Vetek Semiconductor-провідний виробник та постачальник електронних шаків з покриттям SIC в Китаї. E-Chuck з покриттям SIC спеціально розроблений для процесу травлення GAN WAFER, з чудовою продуктивністю та тривалим терміном обслуговування, щоб забезпечити всебічну підтримку для вашого напівпровідникового виробництва. Наша сильна здатність до обробки дозволяє нам забезпечити вам бажаний керамічний дицептор SIC. З нетерпінням чекаємо вашого запиту.