Кільце направляючого карбіду Tantalum

Це напівпровідникTantalum Carbide Guide Ringстворено зграфітіпокритий карбідом Tantalum, поєднання, яке використовує найкращі властивості обох матеріалів для забезпечення вищої продуктивності та довговічності.

ЗTAC покриттяНа посібнику з карбіду Tantalum забезпечує, що воно залишається хімічно інертним в реакційноздатній атмосфері печей росту кристалів SIC, які часто включають такі гази, як водень, аргон та азот. Ця хімічна інертність є життєво важливою для запобігання будь -якому забрудненню зростаючого кристала, що може призвести до дефектів та зниження продуктивності кінцевих напівпровідникових продуктів. Крім того, теплова стабільність, що забезпечується покриттям TAC, дозволяє посібнику з покриття карбіду Tantalum для ефективного роботи при високих температурах, необхідних дляЗростання кристалів SIC, як правило, перевищує 2000 ° C.

Крім того, комбінація графіту та TAC у кільцевому покритті карбіду Tantalum оптимізує теплове управління в печі росту кристалів. Висока теплопровідність графіту ефективно розподіляє тепло, запобігаючи гарячій точці та сприяючи рівномірному росту кристалів. Тим часом, карбідне покриття Tantalum служить тепловим бар'єром, захищаючи графітове ядро ​​від прямого впливу високих температур та реактивних газів. Ця синергія між основними та покриттями матеріалами призводить до направляючого кільця, яке не лише витримує суворі умови зростання кристалів SIC, але й підвищує загальну ефективність та якість процесу.

Механічні властивості напівпровідникового карбіду Vetek Tantalum значно зменшують знос на кільце з покриттям карбіду Tantalum. Це має вирішальне значення через повторювану природуПроцес росту кристалів, що піддає направляюче кільце на часті теплові цикли та механічні напруги. Твердах та стійкість до зносу Tantalum Carbide забезпечують, щоб направляюче кільце підтримує свою структурну цілісність та точні розміри протягом тривалих періодів, мінімізуючи потребу в частих замінах та скорочуючи час простою в процесі виробництва.

Ветек напівпровідникове посібник з покриття карбіду Tantalum Carbide - це важливий компонент у напівпровідниковій галузі, спеціально розробленій для зростанняКРИСТАЛЬНІ КРАБІДИ КІЛІКОНА. Його дизайн використовує сильні сторони графіту та карбіду Tantalum, щоб забезпечити виняткову продуктивність у високотемпературних, високостресових середовищах. Покриття TAC забезпечує хімічну інертність, механічну міцність та теплову стійкість, всі вони є критичними для отримання високоякісних кристалів SIC. Підтримуючи свою цілісність та функціональність в екстремальних умовах, Керівництво направляючі підтримує ефективне та без дефектного зростання кристалів SIC, сприяючи просуванню високопотужних та високочастотних напівпровідникових пристроїв.

Покриття карбіду Танталум (TAC) на мікроскопічному поперечному перерізі:

Фізичні властивості покриття TAC: