Вафельний носій для VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Особливості продукту:

1. Графітова основа високої чистоти з щільним шаром CVD SiC
2. Хороша теплова однорідність для стабільної світлодіодної епітаксії
3. Стійкий до NH₃, HCl та інших корозійних газів, які використовуються в процесі
4. Низьке осипання частинок і тривалий термін служби
5. Конструкції кишень можна налаштувати для різних розмірів пластин і платформ реактора
6. Добре підходить для тривалої роботи MOCVD при високій температурі

Застосування:
Ці носії для пластин широко використовуються в епітаксії світлодіодів і складних напівпровідників, зокрема:

• GaN світлодіодна епітаксія
• Синьо-зелена світлодіодна епітаксія
• Глибокий УФ світлодіодний ріст
• Епітаксія GaN на основі Si
• Загальне виробництво складних напівпровідників

Спеціальні рішення для носіїв підходять для кількох платформ LED MOCVD, таких як:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Унімакс

Технічні переваги:

1. CVD покриття SiCтехнологія, яка забезпечує хорошу щільність і чистоту
2. Варіація товщини покриття в межах ±10 мкм – допомагає стабільним тепловим показникам
3. Обробка з ЧПУ з точністю до 3 мкм для гарного прилягання пластини та стабільності обертання
4. Покриття добре прилипає та стійке до розтріскування після повторних високотемпературних циклів MOCVD
5. Без проблем справляється з NH₃, HCl та іншими жорсткими середовищами епітаксії
6. Низьке утворення часток і чиста поверхня для підтримки високої продуктивностіСвітлодіодна епітаксія
7. Може покривати великі або нестандартні розміри для різних платформ реакторів і макетів пластин
8. Тривалий досвід роботи звиготовлені на замовлення деталі з графітовим покриттям і SiCдля світлодіодної та складної напівпровідникової епітаксії

FAQ:
1. Що робить вафельний носій вMOCVDСвітлодіодна епітаксія?

A: Він утримує та обертає пластини всередині реактора MOCVD і допомагає підтримувати стабільну температуру під час епітаксійного росту.

2. Навіщо використовувати для MOCVD носії графітових пластин із SiC-покриттям?

A: TheCVD покриття SiCзабезпечує кращу стійкість до корозії, термічну стабільність і довговічність. Це також допомагає зменшити забруднення частинками під час високотемпературної епітаксії.

3. Чи виготовляє Vetek Semiconductor спеціальні носії для пластин?
A: Так. Ми можемо розробити індивідуальні носії на основі вашої платформи реактора, розміру пластини, розташування кишень та інших потреб процесу.