Керамічний електростатичний патрон з нітриду алюмінію (AlN).

1.Переваги

• Високочиста кераміка AlN з теплопровідністю до ~180 Вт/м·К для ефективної теплопередачі та рівномірності температури

• Міцна електрична ізоляція та високий питомий об’ємний опір, що підтримує стабільне закріплення при напрузі 1–3 кВ (доступні вищі напруги)

• Спеціальні матеріали шару діелектрика та компонування електродів: Кулон або Джонсен–Рахбек (JR); одно- або багатозонні

• Швидке затискання та розтискання, як правило, менше 0,1 секунди

• Мікроструктури поверхневих ямок діаметром до ~300 мкм, зменшуючи площу контакту до ~1%

• Висока здатність до площинності; типова глобальна площинність порядку 0,5–3 мкм PV для платформ класу 300 мм

• Щільна мікроструктура з майже нульовим водопоглинанням і хорошою хімічною стійкістю для робочих середовищ

2.Типові програми

Керамічні електростатичні патрони з нітриду алюмінію використовуються на етапах процесу, які вимагають як надійного утримання пластини, так і контрольованої термічної поведінки:

• Сухе плазмове травлення (ICP / RIE) і пов'язані камерні процеси

• CVD, PEALD, термічне ALD та інші етапи осадження тонких плівок

• Модулі відпалу та термічного процесу, які потребують рівномірної температури пластини

• Перевірка, метрологія та етапи точності, де низький вміст частинок і стабільне затискання є критичними

3.Класи матеріалів AlN – типові властивості

VeTek пропонує кілька марок нітриду алюмінію, щоб збалансувати теплопровідність, механічну міцність і вартість для конструкцій ESC:

Одиниці: Теплопровідність у Вт/(м·К); діелектрична міцність в кВ/мм; питомий об'ємний опір в Ом·см (25 °C); діелектрична проникність при 1 МГц. Значення є типовими та можуть змінюватися залежно від процесу та геометрії деталей.

4.Типові параметри конструкції ESC

5.Чому Chooвикористовувати електростатичні патрони VeTek AlN?

VeTek Semiconductor об’єднує вдосконалену кераміку AlN з точним виробництвом ESC для споживачів напівпровідників, яким потрібні як теплові характеристики, так і надійне закріплення:

• Кілька марок AlN з теплопровідністю від ~90 до ~180 Вт/м·К для відповідності тепловим бюджетам процесу

• Гнучкий електрод і діелектрична конструкція для кулонівського або JR затиску

• Суворий контроль площинності, мікроструктури поверхні та показників електроізоляції

• Повна підтримка життєвого циклу: проектування, нове будівництво та багаторівнева реконструкція

Керамічні електростатичні патрони з нітриду алюмінію VeTek забезпечують високоефективну керамічну платформу, що підтримується інженерною підтримкою, орієнтованою на застосування, для інструментів для травлення, осадження та термічних інструментів, які залежать від рівномірної температури пластини та чистого повторюваного затискання.