Трипелюсткове кільце з покриттям TaC

VeTek Semiconductor є професійним китайським виробником і постачальником кільця з трьома пелюстками з покриттям TaC. Кільце з трьома пелюстками з покриттям TaC використовується в системі осадження Aixtron G10 для складних напівпровідників, G10-GaN 150/200 мм високопродуктивної епітаксії для живлення GaN і радіочастот. програми.

Напівпровідникове покриття TAC Vitek-це нове покоління високотемпературного матеріалу, з кращою високою температурою, ніж SIC, як корозійне стійке покриття, окислювальне стійке покриття, стійке для зносу покриття, може використовуватися в навколишньому середовищі вище 2000 ℃, широко використовується в Аерокосмічні ультра-високі температури гарячих частин, третє покоління напівпровідникового росту монокристалів та інших полів.

Особливості продукту:

1. Висока чистота, вміст домішок <5 ppm

2. Висока температура, стійкість до корозії, висока щільність, висока щільність

3. Він хімічно інертний до аміаку, водню, силану та кремнію при високій температурі і має хорошу термічну стійкість.

4. Опір термічного удару, може прискорити цикл роботи

5. Сильна графітова адгезія забезпечує тривалий термін служби та відсутність розшарування покриття.

6. Суворі розмірні допуски.

Основні програми:

1. Епітаксіальний ріст

2. Монокристалічний ріст

3. Високотемпературна диверсія корозії

4. Насадка, стійка до високих температур і окислення

5. Лопатки газових турбін

Параметр продукту триетального кільця, покритого TAC

Виробничий цех VeTek Semiconductor: