ТАК покриття обертання

Пластина обертання TAC -покриття Vitek Semiconductor має високий склад чистоти, вміст домішок менше 5 ppm та щільну та рівномірну структуру, яка широко використовується в системах LPE EPI, системах Aixtron, Nuflare Systems, Tel CVD, системами Veeco, TSI.

● Відмінні механічні властивості:

Твердість покриття до 2300 ГВ, з відмінною стійкістю до зносу.

Адгезія між покриттям і підкладкою сильна, і її нелегко відвалиться або відшаровуються.

Покриття все ще може підтримувати хорошу структурну стабільність при високій температурі.

●  Відмінна резистентність до корозії:

Сам матеріал TAC має чудову хімічну стійкість та резистентність до корозії.

Покриття напівпровідника Vetek добре працюють у різних агресивних газових умовах.

Може ефективно захистити внутрішні компоненти обладнання від пошкодження корозії.

● Висока обробка поверхні:

Vetek Semiconductor використовує точний процес покриття для отримання потрібної обробки.

Низька шорсткість поверхні допомагає зменшити накопичення та осадження частинок.

● Послідовність покриття хороша:

Vetek Semiconductor має систему контролю якості звуку для забезпечення послідовної продуктивності між партіями.

Товщина покриття рівномірно розподілена і немає очевидних локальних дефектів.

● Відмінна практична продуктивність додатків:

Покриття TAC Semiconductor Vetek широко використовується у багатьох відомих виробників епітаксіального обладнання в домашніх умовах та за кордоном.

Фізичний параметр продукту обертальної пластини з покриттям TAC:

Покриття карбіду Tantalum на мікроскопічному поперечному перерізі