Високочистий непрозорий кварцовий екран і затвор для MOCVD

1. Технічні характеристики

Ми забезпечуємо високоточну обробку на основі ваших технічних креслень, щоб забезпечити ідеальну відповідність вашим конкретним моделям обладнання.

2. Основні сфери застосування

● Захист процесу MOCVD: Служить основними внутрішніми екранами/вкладишами для захисту реакційного середовища.

● Напівпровідникова епітаксія: Використовується як високоточні затвори для стабілізації потоку та температури під час росту тонких плівок.

● Виробництво широкозонних напівпровідників: сумісний із середовищами з високим попитом на GaN та інші передові матеріали.

3. Чому варто вибрати VETEK Quartz Solutions?

● Покращене управління тепловим випромінюванням: Наш молочно-білий кварц містить високу щільність мікробульбашок, які ефективно розсіюють і блокують високотемпературне теплове випромінювання (>1000°C). Він поглинає видиме та ближнє інфрачервоне світло від нагрівальних елементів і перетворює його на дальнє інфрачервоне випромінювання, забезпечуючи рівномірне нагрівання.
● Контроль забруднення та просте обслуговування: Кварцовий захисний захисний захисний захисний шар підтримує реакційну камеру в чистоті, запобігаючи відкладенню побічних продуктів на дорогих стінках камери та нагрівачах. Ці частини можна регенерувати за допомогою вологого очищення (наприклад, розчини SPM+DHF) або легко замінити, щоб забезпечити високий вихід пластин.
● Надзвичайна хімічна стійкість: Кварц VETEK розроблений таким чином, щоб витримувати часті термічні цикли та протистояти корозії, викликаній органічними металами (як TMGa) і гідридами (як AsH₃).
● Точне управління процесом: Наші кварцові жалюзі зберігають високу стабільність розмірів під інфрачервоним випромінюванням або нагріванням ниткою. Їхня низька теплова інерція забезпечує швидку механічну реакцію, забезпечуючи точний контроль росту на «атомному рівні» та запобігаючи перехресному забрудненню під час перемикання кількох пластин або багатьох процесів.
● Економічно ефективна альтернатива: Для проектів із суворими бюджетними вимогами наші кварцові продукти забезпечують надійну точку входу порівняно з покритим графітом, забезпечуючи необхідний захист і функціональність систем MOCVD.