CVD SiC покритий графітом токоприймач для вафельного носія

1. Переваги продукту

• Матеріал високої чистоти:Напівпровідниковий графітовий матеріал і щільна структура SiC-покриття мінімізують ризики забруднення та підвищують надійність CVD-SiC-покритого графіту.
• Відмінна теплова однорідність:Оптимізована структура графіту та покриття SiC забезпечують стабільну теплопередачу та рівномірний контроль температури пластини.
• Чудова хімічна стійкість:Щільне покриття SiC забезпечує стійкість до технологічних газів і корозійних середовищ.
• Тривалий термін служби:Висока твердість і зносостійкість підвищують довговічність в умовах високотемпературної епітаксії.
• Низьке утворення часток:Щільна поверхня CVD SiC зменшує вивільнення частинок і підвищує надійність процесу виробництва пластин.
• Можливість індивідуального дизайну:Доступні в різних розмірах, структурах і конфігураціях відповідно до вимог обладнання.

2. Технічні характеристики

3. Додатки

• Процес епітаксії SiC:Графітовий токоприймач використовується як носій пластини в обладнанні для епітаксії SiC, підтримуючи підкладки SiC під час високотемпературного епітаксійного росту.
• Процес кремнієвої епітаксії:Застосовується в кремнієвих епітаксіальних реакторах для підтримки пластин і підтримки стабільних теплових умов.
• Епітаксія MOCVD:Графітові електроприймачі VETEK підходять для MOCVD, світлодіодної епітаксії, епітаксії GaN, епітаксії кремнію та інших процесів виробництва напівпровідників, які вимагають чудової термічної однорідності та хімічної стабільності.
• Обладнання для виробництва напівпровідників:Сумісний з різними платформами епітаксії, включаючи горизонтальні печі LPE, Aixtron, NuFlare та відповідне напівпровідникове обладнання.

4. Чому варто вибрати VETEK?

VETEK надає індивідуальні рішення для графітових токоприймачів із покриттям CVD SiC, які включають очищення графіту, точну механічну обробку, покриття CVD та можливості перевірки. Наші напівпровідникові графітові чутливі вироби відрізняються високою чистотою, рівномірною товщиною покриття, відмінними тепловими характеристиками та тривалим терміном служби для вимогливих застосувань на носіях пластин.