Прихильник EPI

Vetek Semiconductor - професійний лідер Китайського епі, здійснений, ALD Planetary Tugor та виробник підтримки графіту з покриттям TAC. і Наша підтримка EPI є важливим компонентомЕпітаксіальне зростанняУ процесі виготовлення напівпровідників. Основна його функція полягає у підтримці та нагрівання пластини, щоб високоякісний епітаксіальний шар міг бути рівномірно вирощені на поверхні вафлі.

ЕПІ напівпровідники Vetek, як правило, виготовляються з графіту високої чистоти та покриті шаром карбіду кремнію (SIC).Ця конструкція має наступні ключові переваги:

● Висока температура: Сприцептор EPI може залишатися стабільним у високотемпературному середовищі, забезпечуючи рівномірний ріст епітаксіального шару.

● Корозійна стійкість: Покриття SIC має відмінну резистентність до корозії і може протистояти ерозії хімічних газів, продовжуючи термін служби лотка.

● Теплопровідність: Висока теплопровідність матеріалу SIC забезпечує рівномірний розподіл температури пластини під час нагрівання, тим самим покращуючи якість епітаксіального шару.

● Коефіцієнт теплового розширення: Коефіцієнт теплового розширення SIC схожий на графіт, уникаючи проблеми проливання покриття через теплове розширення та скорочення.

Основні фізичні властивостіCVD SIC покриття:

Виробничий магазин покриття CVD SIC:

Огляд напівпровідникового ланцюга епітакси: