Висока чистота кварцовий човен

Кварцовий вафельний човен високої чистоти від VeTek Semiconductor виготовлений з кварцу надвисокої чистоти, який має характеристики низького вмісту гідроксилу, високої чистоти та сильної стійкості до високих температур. Цей матеріал також широко використовується в напівпровідниковій промисловості як матеріал для дифузійних печей і компонентів печей CVD. Як контейнер для перенесення кремнієвих пластин кварцова пластина високої чистоти використовується в напівпровідниковій, фотоелектричній, хімічній та інших галузях.

Сценарії застосування

По-перше, це область напівпровідників. Процес термічної обробки пластин є дуже важливим, включаючи термічне окислення, дифузію, відпал тощо. Завдяки процесу термічної обробки ми надаємо пластинам нових характеристик.

Пробірки для партії печі використовуються для процесів обробки напівпровідникових вафель, таких як термічне окислення, дифузія з високою температурою, відпал та тонке осадження плівки. Печарна партія нагріву в основному використовується для нагрівання корпусу печі котушками для завершення термічної обробки. Згідно з різними робочими конструкціями, трубки для сердечників пакетної печі можна розділити на горизонтальні печі та вертикальні печі:

(1) Кварцовий вафель з високою чистотою горизонтальної печі розміщується горизонтально, тому її називають горизонтальною печі.

У процесі очищення тепла пластина завантажується на вафельний човен з високою чистотою, повільно відправляється в трубку кварцової печі, і пластина розміщується в постійній температурній зоні для обробки. Почекавши, коли процес завершиться, вафельна кварцова човна повільно витягується з кварцової печі, щоб запобігти пошкодженню пластини через раптові зміни температури. Горизонтальні печі широко використовуються в процесі дифузії інтегрованих ланцюгів з діаметром вафель менше 200 мм. 

Перевагами горизонтальних печей є простий процес, хороша однорідність між пластинами та можливість обробляти декілька пластин одночасно. Недоліками є низька швидкість нагрівання, великі розміри обладнання, складність автоматизації та легкий доступ зовнішнього повітря при завантаженні та вивантаженні пластин.

(2) Кварцовий вафель з високою чистотою вертикальної печі розміщується вертикально, тому її називають вертикальною печі.

Пластина завантажується на кварцову вежу і повільно піднімається до труби кварцової печі для нагрівання. Під час процесу нагрівання кварцовий вафельний човен високої чистоти повільно обертатиметься, щоб забезпечити рівномірний нагрів вафлі. Після обробки кварцова вежа буде повільно опускатися, щоб уникнути перепадів температури, які можуть спричинити пошкодження пластини. Вертикальні печі в основному використовуються в процесі виробництва інтегральних схем пластин діаметром 200 мм і 300 мм. Основна технологія вертикальних печей полягає у високоточному контролі температурного поля, контролі частинок, контролі мікрокисню в мікросередовищі та моторизації. Перевагами вертикальних печей є тонкий шар природного оксиду, хороша однорідність, легка автоматизація, невелика площа обладнання та періодична обробка. Недоліком є ​​низька швидкість нагрівання.

У фотоелектричному полі виробничий процес фотоелектричних клітин потребує кварцових човнів для перенесення та транспортування кремнієвих вафель у високотемпературному дифузійному процесі. Високотемпературна обробка в азоті з високою чистотою, киснем або іншою атмосферою інертного газу, такою як дифузія фосфору або дифузія бору, є важливим кроком у виробничому процесі сонячних батарей. Мета полягає в тому, щоб сформувати перехід PN на кремнієвій вафлі.

Кварцовий човен має точно розроблені прорізи всередині, щоб гарантувати, що кремнієва пластина зберігає точне положення під час процесу високотемпературної дифузії та рівномірно нагрівається. Оскільки кварцовий матеріал має гарну стійкість до високих температур і хімічну стабільність, він не забруднює кремнієву пластину, що сприяє підтримці високої чистоти виробничого середовища.

Будучи інноватором і лідером на китайському ринку кварцових човнів із використанням вафель, незалежно від того, працюєте ви в напівпровідниковій промисловості чи фотоелектричній промисловості, якщо вам потрібен кварцовий вафельний човен високої чистоти, запитайте у нас пропозицію, і ми зможемо адаптувати це для вас відповідно до ваших потреб.

Це напівпровідник Магазини продуктів: