Нагрівач покриття TaC

Нагрівач TAC покриття-це високоефективний нагрівальний елемент, що широко використовується в напівпровідникових виробничих процесах. Його поверхня покрита матеріалом карбіду в Танталі (TAC), який надає нагрівачеві відмінну високу температуру, хімічну стійкість до корозії та відмінну теплопровідність.

Основні програми нагрівача для покриття TAC у виробництві напівпровідників включають:

 ✔ Під час процесу епітаксійного нарощування нітриду галію (GaN) TaC Coating Heater забезпечує точно контрольовану високу температуру середовища, щоб гарантувати, що епітаксійний шар наноситься на підкладку з рівномірною швидкістю та високою якістю. Його стабільна тепловіддача допомагає досягти точного контролю тонкоплівкових матеріалів, тим самим покращуючи продуктивність пристрою.

 ✔ Крім того, у процесі металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD), у поєднанні з високотемпературною стійкістю та теплопровідністю покриття TaC, нагрівач покриття TaC зазвичай використовується для нагрівання реакційного газу, і, забезпечуючи рівномірний розподіл тепла, він сприяє його хімічній реакції на поверхні підкладки, тим самим покращуючи рівномірність епітаксійного шару та утворюючи високоякісну плівку.

 ✔ Як лідер галузі у виробництві нагрівачів для покриттів TaC, VeTek Semiconducto завжди підтримує послуги з налаштування продукції та задовільні ціни на продукцію. Незалежно від ваших конкретних вимог, ми підберемо найкраще рішення для ваших потреб у нагрівачі покриття TaC і чекаємо на вашу консультацію в будь-який час.