ТАК Покриття Нападник

Ветек напівпровідник TAC -обертання Паблотник є ключовим компонентом для обробки вафель у напівпровідниковій обробці. ЙогоТак щоНашмає відмінну високу температуру (точку плавлення до 3880 ° C), хімічну стійкість та резистентність до корозії, які забезпечують високу точність та високу якість при обробці вафель.

Сприцептор обертання покриття TAC (Tantalum Carbon Cobating Cortation Peration Peration) є ключовим компонентом обладнання, що використовується при напівпровідниковій обробці. Зазвичай встановлюється вХімічне осадження пари (CVD)та молекулярна променя епітаксії (MBE) для підтримки та обертання вафель, щоб забезпечити рівномірне осадження матеріалу та ефективну реакцію. Цей тип продукту значно покращує термін служби та продуктивність обладнання у високих температурних та корозійних умовах шляхом покриття субстрату зТанталум вуглецю (TAC) покриття.

Сприцептор обертання покриття TAC зазвичай складається з покриття TAC та графітового або кремнієвого карбіду як матеріалу підкладки. TAC-це надвисокий температурний керамічний матеріал з надзвичайно високою точкою плавлення (точка плавлення до 3880 ° C), твердість (твердість Вікерса становить приблизно 2000 р.) Та відмінна хімічна резистентність до корозії. Напівпровідник Vetek може ефективно і рівномірно покривати покриття вуглецю Tantalum на матеріалі субстрату за допомогою технології CVD.

Сприцептор обертання зазвичай виготовляється з високої теплопровідності та матеріалів високої міцності (графіт абокарбід кремнію), що може забезпечити хорошу механічну підтримку та термічну стійкість у високотемпературних середовищах. Ідеальне поєднання двох визначає ідеальну продуктивність сприйнятливого обертання TAC покриття у підтримуючих та обертових вафлях.

Напрацектор обертання покриття TAC підтримує та обертає вафлі в процесі ССЗ. Твердість Віккерс ТАС становить близько 2000 ГК, що дозволяє йому протистояти повторному тертях матеріалу і відігравати хорошу допоміжну роль, тим самим гарантуючи, що реакційний газ рівномірно розподілений на поверхні вафлі і матеріал рівномірно осідає. У той же час висока температура та корозійна стійкість до покриття TAC дозволяють використовувати його протягом тривалого часу при високій температурі та корозійних атмосферах, що ефективно дозволяє уникнути забруднення пластини та носія.

Більше того, теплопровідність TAC становить 21 мас./М · k, що має хорошу теплопередачу. Отже, чутливий до обертання покриття TAC може рівномірно нагрівати пластину в умовах високої температури та забезпечити рівномірність процесу осадження газу через обертальний рух, тим самим підтримуючи послідовність та високу якістьЗростання вафель.

Танталум карбіду (TAC) покриття на мікроскопічному поперечному перерізі：

Фізичні властивості покриття TAC：

TAC покриття Ротаційні магазини: