Продукти

Покриття з карбіду танталу

VeTek semiconductor є провідним виробником матеріалів для покриття з карбіду танталу для напівпровідникової промисловості. Наші основні пропозиції продуктів включають деталі з покриттям з карбіду танталу CVD, деталі з покриттям зі спеченого TaC для вирощування кристалів SiC або процесу напівпровідникової епітаксії. Компанія VeTek Semiconductor пройшла стандарт ISO9001 і добре контролює якість. VeTek Semiconductor прагне стати інноватором у галузі покриття з карбіду танталу завдяки постійним дослідженням і розробці ітераційних технологій.


Основною продукцією єНапрямне кільце з покриттям TaC, Трипелюсткове напрямне кільце з покриттям CVD TaC, Напівмісяць із покриттям з карбіду танталу TaC, Планетарний епітаксіальний SiC-покриття CVD TaC, Кільце з покриттям з карбіду танталу, Пористий графіт з покриттям з карбіду танталу, Приймач обертання покриття TaC, Кільце з карбіду танталу, Обертова пластина з покриттям TaC, Пластина з покриттям TaC, Дефлекторне кільце з покриттям TaC, Покриття CVD TaC, Патрон із покриттям TaCтощо, чистота нижче 5 ppm, може задовольнити вимоги замовника.


Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Перевага показана на зображенні нижче:


Excellent properties of TaC coating graphite


Покриття з карбіду танталу (TaC) привернуло увагу завдяки своїй високій температурі плавлення до 3880°C, відмінній механічній міцності, твердості та стійкості до термічних ударів, що робить його привабливою альтернативою процесам епітаксії складних напівпровідників з вищими вимогами до температури. такі як система Aixtron MOCVD і процес епітаксії SiC LPE. Він також має широке застосування в процесі вирощування кристалів SiC методом PVT.


Ключові характеристики:

 ●Температурна стабільність

 ●Надвисока чистота

 ●Стійкість до H2, NH3, SiH4,Si

 ●Стійкість до термозапасу

 ●Сильна адгезія до графіту

 ●Конформне покриття покриття

 Розмір до 750 мм в діаметрі (єдиний виробник в Китаї досягає такого розміру)


Додатки:

 ●Вафельний носій

 ● Індуктивний нагрівач

 ● Резистивний нагрівальний елемент

 ●Супутниковий диск

 ●Лійка для душу

 ●Направляюче кільце

 ●LED Epi приймач

 ●Інжекторна насадка

 ●Маскувальне кільце

 ● Тепловий екран


Покриття з карбіду танталу (TaC) на мікроскопічному поперечному зрізі:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметр покриття з карбіду танталу VeTek Semiconductor:

Фізичні властивості покриття TaC
Щільність 14,3 (г/см³)
Питома випромінювальна здатність 0.3
Коефіцієнт теплового розширення 6.3 10-6
Твердість (HK) 2000 HK
опір 1×10-5Ом*см
Термостабільність <2500 ℃
Розмір графіту змінюється -10~-20 мкм
Товщина покриття Типове значення ≥20um (35um±10um)


Дані EDX покриття TaC

EDX data of TaC coating


Дані кристалічної структури покриття TaC:

елемент Атомний відсоток
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Середній
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Кільце з дефлектором з покриттям

Кільце з дефлектором з покриттям

Кільце з дефлектором, покритому TAC, покритому TAC, що покривало TAC, є високо спеціалізованим компонентом, призначеним для процесів росту кристалів SIC. Покриття TAC забезпечує відмінну високу температуру та хімічну інертність, щоб впоратися з високими температурами та корозійним середовищем під час процесу росту кристалів. Це забезпечує стабільну продуктивність та тривалий термін експлуатації компонента, зменшуючи частоту заміни та простою. Ми прагнемо забезпечити якісну продукцію за конкурентними цінами та сподіваємось бути вашим довгостроковим партнером у Китаї. Невже в будь-який час проконсультуватися.
Трубка з покриттям карбіду Tantalum для росту кристалів

Трубка з покриттям карбіду Tantalum для росту кристалів

Трубка з покриттям карбіду Tantalum для росту кристалів в основному використовується в процесі росту кристалів SIC. Ветек Semiconductor постачає трубку з покриттям карбіду в танталі протягом багатьох років, і працює в галузі покриття TAC протягом багатьох років. Наші продукти мають високу чистоту та високу температуру. Ми сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї. Не соромтеся запитувати нас.
Кільце з покриттям TAC для епітаксіального реактора SIC

Кільце з покриттям TAC для епітаксіального реактора SIC

Vetek Semiconductor-провідний виробник та технологічний новатор кільця з покриттям TAC для епітаксіального реактора SIC в Китаї, зосереджуючись на забезпеченні високоефективних рішень для епітаксіальних реакторів SIC. Ми маємо багаторічний досвід роботи в технологіях покриття TAC. Кільце з покриттям TAC має характеристики високої чистоти, високої стабільності, відмінної резистентності до корозії тощо, і може забезпечити довгострокову стабільну продуктивність у суворому робочому середовищі епітаксіальних реакторів. Ми з нетерпінням чекаємо встановлення з вами довгострокового стратегічного партнерства.
Частина півмісяця з покриттям з карбіду танталу для LPE

Частина півмісяця з покриттям з карбіду танталу для LPE

VeTek Semiconductor є провідним постачальником деталей Halfmoon з покриттям з карбіду танталу для LPE у Китаї, який протягом багатьох років зосереджується на технології покриття TaC. Наша деталь Halfmoon з покриттям з карбіду танталу для LPE розроблена для процесу рідкофазної епітаксії та може витримувати високу температуру понад 2000 градусів Цельсія. Завдяки відмінним характеристикам матеріалів та інноваційним процесам термін служби нашої продукції є провідним у галузі. VeTek Semiconductor сподівається стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
Посібник з покриттям TAC

Посібник з покриттям TAC

Посібник з покриттям TAC виготовлено з високоякісного графітового та TAC покриття. При приготуванні кристалів SIC методом PVT метод PVT напівпровідникове кероване кільце з покриттям TAC в основному використовується для керівництва та управління потоком повітря, оптимізації процесу росту монокристалі та покращення вихідного монокристалічного виходу. За допомогою відмінної технології покриття TAC, наші продукти мають відмінну високу температуру, стійкість до корозії та хороші механічні властивості.
Планетарний обертовий диск з покриттям з карбіду танталу

Планетарний обертовий диск з покриттям з карбіду танталу

VeTek Semiconductor є провідним виробником і постачальником планетарних ротаційних дисків із покриттям з карбіду танталу в Китаї, який протягом багатьох років зосереджується на технології покриття TaC. Наші продукти мають високу чистоту та відмінну стійкість до високих температур, які широко визнані виробниками напівпровідників. Планетарний ротаційний диск VeTek Semiconductor з покриттям з карбіду танталу став основою індустрії епітаксії пластин. Ми з нетерпінням чекаємо на встановлення з вами довгострокового партнерства для спільного просування технологічного прогресу та оптимізації виробництва.
Як професіонал Покриття з карбіду танталу виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Покриття з карбіду танталу, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept