Продукти

Покриття з карбіду танталу

VeTek semiconductor є провідним виробником матеріалів для покриття з карбіду танталу для напівпровідникової промисловості. Наші основні пропозиції продуктів включають деталі з покриттям з карбіду танталу CVD, деталі з покриттям зі спеченого TaC для вирощування кристалів SiC або процесу напівпровідникової епітаксії. Компанія VeTek Semiconductor пройшла стандарт ISO9001 і добре контролює якість. VeTek Semiconductor прагне стати інноватором у галузі покриття з карбіду танталу завдяки постійним дослідженням і розробці ітераційних технологій.


Основною продукцією єНапрямне кільце з покриттям TaC, Трипелюсткове напрямне кільце з покриттям CVD TaC, Напівмісяць із покриттям з карбіду танталу TaC, Планетарний епітаксіальний SiC-покриття CVD TaC, Кільце з покриттям з карбіду танталу, Пористий графіт з покриттям з карбіду танталу, Приймач обертання покриття TaC, Кільце з карбіду танталу, Обертова пластина з покриттям TaC, Пластина з покриттям TaC, Дефлекторне кільце з покриттям TaC, Покриття CVD TaC, Патрон із покриттям TaCтощо, чистота нижче 5 ppm, може задовольнити вимоги замовника.


Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Перевага показана на зображенні нижче:


Excellent properties of TaC coating graphite


Покриття з карбіду танталу (TaC) привернуло увагу завдяки своїй високій температурі плавлення до 3880°C, відмінній механічній міцності, твердості та стійкості до термічних ударів, що робить його привабливою альтернативою процесам епітаксії складних напівпровідників з вищими вимогами до температури. такі як система Aixtron MOCVD і процес епітаксії SiC LPE. Він також має широке застосування в процесі вирощування кристалів SiC методом PVT.


Ключові характеристики:

 ●Температурна стабільність

 ●Надвисока чистота

 ●Стійкість до H2, NH3, SiH4,Si

 ●Стійкість до термозапасу

 ●Сильна адгезія до графіту

 ●Конформне покриття покриття

 Розмір до 750 мм в діаметрі (єдиний виробник в Китаї досягає такого розміру)


Додатки:

 ●Вафельний носій

 ● Індуктивний нагрівач

 ● Резистивний нагрівальний елемент

 ●Супутниковий диск

 ●Лійка для душу

 ●Направляюче кільце

 ●LED Epi приймач

 ●Інжекторна насадка

 ●Маскувальне кільце

 ● Тепловий екран


Покриття з карбіду танталу (TaC) на мікроскопічному поперечному зрізі:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметр покриття з карбіду танталу VeTek Semiconductor:

Фізичні властивості покриття TaC
Щільність 14,3 (г/см³)
Питома випромінювальна здатність 0.3
Коефіцієнт теплового розширення 6.3 10-6
Твердість (HK) 2000 HK
опір 1×10-5Ом*см
Термостабільність <2500 ℃
Розмір графіту змінюється -10~-20 мкм
Товщина покриття Типове значення ≥20um (35um±10um)


Дані EDX покриття TaC

EDX data of TaC coating


Дані кристалічної структури покриття TaC:

елемент Атомний відсоток
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Середній
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
CVD TAC Кільце покриття

CVD TAC Кільце покриття

У напівпровідниковій промисловості кільце для покриття CVD TAC є дуже вигідним компонентом, призначеним для задоволення вимогливих вимог процесів росту карбіду кремнію (SIC). Кільце TAC-покриття CVD SEMCONDEK Vetek забезпечує видатну високотемпературну стійкість та хімічну інертність, що робить його ідеальним вибором для середовищ, що характеризуються підвищеними температурами та корозійними умовами. Будь ласка, не соромтеся зв’язуватися з нами для отримання додаткових питань.
LPE SIC EPI Half Moon

LPE SIC EPI Half Moon

LPE SiC Epi Halfmoon — це спеціальна конструкція для горизонтальної епітаксічної печі, революційний продукт, розроблений для вдосконалення процесів SiC епітаксії в реакторі LPE. Це передове рішення може похвалитися декількома ключовими функціями, які забезпечують чудову продуктивність і ефективність під час ваших виробничих операцій. Vetek Semiconductor є професіоналом у виробництві LPE SiC Epi halfmoon розміром 6 дюймів, 8 дюймів. З нетерпінням чекаємо налагодження довгострокової співпраці з вами.
Світлодію ЕПІ

Світлодію ЕПІ

Vetek Semiconductor - провідний постачальник покриттів TAC та графітових деталей для покриття SIC. Ми спеціалізуємося на виробництві передових світлодіодних епі, необхідних для світлодіодних процесів епітакси. З нетерпінням чекаємо вашої подальшої консультації.
Mocvd чутливий з покриттям TAC

Mocvd чутливий з покриттям TAC

Vetek Semiconductor - це всебічний постачальник, який бере участь у дослідженні, розробці, виробництві, дизайні та продажах покриттів та деталей покриття SIC. Наша експертиза полягає у виробництві найсучаснішого сприйнятливого MOCVD з покриттям TAC, які відіграють життєво важливу роль у процесі світлодіодної епітаксії. Ми вітаємо вас, щоб обговорити з нами запити та додаткову інформацію.
TAC, покритий глибоким ультрафіолетовим сервісом

TAC, покритий глибоким ультрафіолетовим сервісом

Покриття TaC — це покриття нового покоління, розроблене для суворих умов. VeTek Semiconductor — інтегрований постачальник, який займається дослідженнями та розробкою, виробництвом, дизайном і продажем покриттів TaC. Ми спеціалізуємося на виробництві ультрафіолетових світлодіодних фіксаторів із покриттям TaC, які є ключовими компонентами процесу світлодіодної епітаксії. Наш глибокий ультрафіолетовий світлодіодний датчик із покриттям TaC забезпечує високу теплопровідність, високу механічну міцність, покращену ефективність виробництва та захист епітаксійної пластини. Ласкаво просимо до нас.
Танталум карбід, покритий половиною місяця

Танталум карбід, покритий половиною місяця

Частини півмісяця, покриті покриттям CVD TAC, є більш міцними, ніж частини півмісяця з покриттям SIC. ціна. Ви можете відвідати нашу фабрику для подальшого обговорення довгострокової співпраці.
Як професіонал Покриття з карбіду танталу виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Покриття з карбіду танталу, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept