Веб-меню

Пошук продукту

Мова

Продукти

Покриття з карбіду танталу

VeTek semiconductor є провідним виробником матеріалів для покриття з карбіду танталу для напівпровідникової промисловості. Наші основні пропозиції продуктів включають деталі з покриттям з карбіду танталу CVD, деталі з покриттям зі спеченого TaC для вирощування кристалів SiC або процесу напівпровідникової епітаксії. Компанія VeTek Semiconductor пройшла стандарт ISO9001 і добре контролює якість. VeTek Semiconductor прагне стати інноватором у галузі покриття з карбіду танталу завдяки постійним дослідженням і розробці ітераційних технологій.


Основною продукцією єНапрямне кільце з покриттям TaC, Трипелюсткове напрямне кільце з покриттям CVD TaC, Напівмісяць із покриттям з карбіду танталу TaC, Планетарний епітаксіальний SiC-покриття CVD TaC, Кільце з покриттям з карбіду танталу, Пористий графіт з покриттям з карбіду танталу, Приймач обертання покриття TaC, Кільце з карбіду танталу, Обертова пластина з покриттям TaC, Пластина з покриттям TaC, Дефлекторне кільце з покриттям TaC, Покриття CVD TaC, Патрон із покриттям TaCтощо, чистота нижче 5 ppm, може задовольнити вимоги замовника.


Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Перевага показана на зображенні нижче:


Excellent properties of TaC coating graphite


Покриття з карбіду танталу (TaC) привернуло увагу завдяки своїй високій температурі плавлення до 3880°C, відмінній механічній міцності, твердості та стійкості до термічних ударів, що робить його привабливою альтернативою процесам епітаксії складних напівпровідників з вищими вимогами до температури. такі як система Aixtron MOCVD і процес епітаксії SiC LPE. Він також має широке застосування в процесі вирощування кристалів SiC методом PVT.


Ключові характеристики:

 ●Температурна стабільність

 ●Надвисока чистота

 ●Стійкість до H2, NH3, SiH4,Si

 ●Стійкість до термозапасу

 ●Сильна адгезія до графіту

 ●Конформне покриття покриття

 ● Розмір до 750 мм в діаметрі (єдиний виробник в Китаї досягає такого розміру)


Додатки:

 ●Вафельний носій

 ● Індуктивний нагрівач

 ● Резистивний нагрівальний елемент

 ●Супутниковий диск

 ●Лійка для душу

 ●Направляюче кільце

 ●LED Epi приймач

 ●Інжекторна насадка

 ●Маскувальне кільце

 ● Тепловий екран


Покриття з карбіду танталу (TaC) на мікроскопічному поперечному зрізі:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметр покриття з карбіду танталу VeTek Semiconductor:

Фізичні властивості покриття TaC
Щільність 14,3 (г/см³)
Питома випромінювальна здатність 0.3
Коефіцієнт теплового розширення 6.3 10-6/К
Твердість (HK) 2000 HK
опір 1×10-5Ом*см
Термостабільність <2500 ℃
Розмір графіту змінюється -10~-20 мкм
Товщина покриття Типове значення ≥20um (35um±10um)


Дані EDX покриття TaC：

EDX data of TaC coating


Дані кристалічної структури покриття TaC:

елемент Атомний відсоток
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Середній
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
ТАК покриття обертання

ТАК покриття обертання

Пластина обертання покриття TAC, що виробляється Betek Semiconductor, може похвалитися видатним покриттям TAC, з його винятковим покриттям TAC, AC-пластина покриття може похвалитися неабиякою високотемпературною та хімічною інертністю, яка виділяє її від традиційних рішень.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
ТАС

ТАС

Розроблений з точністю та розробленим до досконалості, пластина TAC -покриття Vitek Semiconductor спеціально підібрана для різних застосувань у кремнієвих карбідах (SIC) монокристалічних процесів. Його надійна ефективність та високоякісне покриття сприяють послідовним та єдиним результатам у програмах зростання кристалів SIC. Ми прагнемо забезпечити якісну продукцію за конкурентними цінами та сподіваємось бути вашим довгостроковим партнером у Китаї.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
CVD TAC Покриття покриття

CVD TAC Покриття покриття

Покриття покриття CVD TAC, що надається Vetek Semiconductor - це вузькоспеціалізований компонент, розроблений спеціально для вимогливих додатків. Завдяки розширеним функціям та винятковими показниками, наше покриття покриття CVD пропонує кілька ключових переваг. Наш покриття CVD TAC забезпечує необхідний захист та продуктивність, необхідні для успіху. Ми з нетерпінням чекаємо вивчення потенційної співпраці з вами!
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Планетарне чутливість

Планетарне чутливість

Планетарне сприйнятливий для покриття TAC є винятковим продуктом для обладнання епітакси Aixtron. Покриття TAC Semiconductor Vetek забезпечує відмінну високотемпературну стійкість та хімічну інертність. Це унікальне поєднання забезпечує надійну ефективність та тривалий термін служби, навіть у вимогливих умовах. Vetek прагне забезпечити якісну продукцію та служити довгостроковим партнером на китайському ринку з конкурентоспроможними цінами.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
ТАК ТАК ПОДАРТАЛЬНА ТАБЛИЦЯ

ТАК ТАК ПОДАРТАЛЬНА ТАБЛИЦЯ

Покриття TAC може витримувати високу температуру 2200 ℃. Vitek Semiconductor забезпечує покриття TAC з високою чистотою з домішками нижче 5ppm в Китаї. Пластина для п’єдесталу з покриттям TAC здатна протистояти водню аміаку, аргоніну в камері реакційної камери епітаксіального пристрою. Це покращує термін служби продукту. Ви надаєте вимоги, ми пропонуємо налаштування.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
TAC покриття Чак

TAC покриття Чак

Чак з ненодопровідником Vetek Semiconductor має високоякісне покриття на поверхні, відомий своєю видатною високотемпературною стійкістю та хімічною інертністю, особливо в процесах епітаксії (SIC) епітаксії (EPI). Завдяки своїм винятковим функціям та чудовими показниками, наш Чак з покриттям пропонує кілька ключових переваг. Ми прагнемо забезпечити якісну продукцію за конкурентними цінами та сподіваємось бути вашим довгостроковим партнером у Китаї.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Як професіонал Покриття з карбіду танталу виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Покриття з карбіду танталу, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.
Новини Рекомендації
Чому покриттю SiC приділяється стільки уваги? - VeTek Semiconductor
Чому покриттю SiC приділяється стільки уваги? - VeTek SemiconductorДивитись більше >>
Прорив технології карбіду Tantalum, Епітаксіальне забруднення SIC зменшилось на 75%?
Прорив технології карбіду Tantalum, Епітаксіальне забруднення SIC зменшилось на 75%?Дивитись більше >>
Характеристики кремнієвої епітаксії
Характеристики кремнієвої епітаксіїДивитись більше >>
Що таке графітовий човен PECVD?
Що таке графітовий човен PECVD?Дивитись більше >>
Принципи та технології фізичного осадження пари (PVD) покриття (2/2) - напівпровідник Vetek
Принципи та технології фізичного осадження пари (PVD) покриття (2/2) - напівпровідник VetekДивитись більше >>
Як підготувати CVD TAC покриття? - Ветессемікон
Як підготувати CVD TAC покриття? - ВетессеміконДивитись більше >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept