Веб-меню

Пошук продукту

Мова

Продукти

Покриття з карбіду танталу

VeTek semiconductor є провідним виробником матеріалів для покриття з карбіду танталу для напівпровідникової промисловості. Наші основні пропозиції продуктів включають деталі з покриттям з карбіду танталу CVD, деталі з покриттям зі спеченого TaC для вирощування кристалів SiC або процесу напівпровідникової епітаксії. Компанія VeTek Semiconductor пройшла стандарт ISO9001 і добре контролює якість. VeTek Semiconductor прагне стати інноватором у галузі покриття з карбіду танталу завдяки постійним дослідженням і розробці ітераційних технологій.


Основною продукцією єНапрямне кільце з покриттям TaC, Трипелюсткове напрямне кільце з покриттям CVD TaC, Напівмісяць із покриттям з карбіду танталу TaC, Планетарний епітаксіальний SiC-покриття CVD TaC, Кільце з покриттям з карбіду танталу, Пористий графіт з покриттям з карбіду танталу, Приймач обертання покриття TaC, Кільце з карбіду танталу, Обертова пластина з покриттям TaC, Пластина з покриттям TaC, Дефлекторне кільце з покриттям TaC, Покриття CVD TaC, Патрон із покриттям TaCтощо, чистота нижче 5 ppm, може задовольнити вимоги замовника.


Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Перевага показана на зображенні нижче:


Excellent properties of TaC coating graphite


Покриття з карбіду танталу (TaC) привернуло увагу завдяки своїй високій температурі плавлення до 3880°C, відмінній механічній міцності, твердості та стійкості до термічних ударів, що робить його привабливою альтернативою процесам епітаксії складних напівпровідників з вищими вимогами до температури. такі як система Aixtron MOCVD і процес епітаксії SiC LPE. Він також має широке застосування в процесі вирощування кристалів SiC методом PVT.


Ключові характеристики:

 ●Температурна стабільність

 ●Надвисока чистота

 ●Стійкість до H2, NH3, SiH4,Si

 ●Стійкість до термозапасу

 ●Сильна адгезія до графіту

 ●Конформне покриття покриття

 ● Розмір до 750 мм в діаметрі (єдиний виробник в Китаї досягає такого розміру)


Додатки:

 ●Вафельний носій

 ● Індуктивний нагрівач

 ● Резистивний нагрівальний елемент

 ●Супутниковий диск

 ●Лійка для душу

 ●Направляюче кільце

 ●LED Epi приймач

 ●Інжекторна насадка

 ●Маскувальне кільце

 ● Тепловий екран


Покриття з карбіду танталу (TaC) на мікроскопічному поперечному зрізі:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметр покриття з карбіду танталу VeTek Semiconductor:

Фізичні властивості покриття TaC
Щільність 14,3 (г/см³)
Питома випромінювальна здатність 0.3
Коефіцієнт теплового розширення 6.3 10-6/К
Твердість (HK) 2000 HK
опір 1×10-5Ом*см
Термостабільність <2500 ℃
Розмір графіту змінюється -10~-20 мкм
Товщина покриття Типове значення ≥20um (35um±10um)


Дані EDX покриття TaC：

EDX data of TaC coating


Дані кристалічної структури покриття TaC:

елемент Атомний відсоток
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Середній
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Приймач обертання покриття TaC

Приймач обертання покриття TaC

Як професійний виробник, інноватор і лідер із виробництва TaC Coating Rotation Susceptor продуктів у Китаї. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor зазвичай встановлюється в обладнання для хімічного осадження з парової фази (CVD) і молекулярно-променевої епітаксії (MBE) для підтримки та обертання пластин для забезпечення рівномірного осадження матеріалу та ефективної реакції. Це ключовий компонент у обробці напівпровідників. Ласкаво просимо до подальшої консультації.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Тигель для покриття CVD TaC

Тигель для покриття CVD TaC

VeTek Semiconductor є професійним виробником і лідером CVD TaC Coating Crucible продуктів у Китаї. CVD TaC Coating Crucible базується на покритті з танталового вуглецю (TaC). Танталове вуглецеве покриття рівномірно покривається поверхнею тигля за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази (CVD), щоб підвищити його термостійкість і стійкість до корозії. Це матеріал, який спеціально використовується в екстремальних умовах високої температури. Ласкаво просимо до подальшої консультації.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
CVD TAC Покриття Властник

CVD TAC Покриття Властник

Як професійний виробник продукту та фабрику продуктів для вафельних виробів на CVD в Китаї, напівпровідник Vetek Semiconductor CVD TAC покриває, що носій вафельного покриття - це інструмент для перевезення пластину, спеціально розроблений для високої температури та корозійного середовища у напівпровідниковому виробництві. А носій для вафельних вафель CVD має високу механічну міцність, відмінну резистентність до корозії та термічну стійкість, що забезпечує необхідну гарантію для виготовлення високоякісних напівпровідникових пристроїв. Ваші подальші запити вітаються.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Нагрівач покриття TaC

Нагрівач покриття TaC

VeTek Semiconductor TaC Coating Heater має надзвичайно високу температуру плавлення (близько 3880°C). Висока температура плавлення дозволяє йому працювати при надзвичайно високих температурах, особливо при нарощуванні епітаксійних шарів нітриду галію (GaN) у процесі металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD). VeTek Semiconductor прагне надавати клієнтам індивідуальні рішення для продуктів. Ми з нетерпінням чекаємо на вашу думку.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Покриття CVD TAC

Покриття CVD TAC

VeTek Semiconductor є провідним китайським виробником покриттів CVD TAC. Протягом багатьох років ми зосереджувалися на різних продуктах покриття CVD TAC, таких як кришка покриття CVD TaC, кільце покриття CVD TaC. VeTek Semiconductor надає індивідуальні послуги та задовільні ціни на продукцію та сподівається на подальшу консультацію.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Чак з покриттям

Чак з покриттям

Завдяки високій температурній стійкості, хімічній інертності та відмінній продуктивності, TAC, що покриваються напівпровідниками, розроблені для напівпровідникових печей. Ми вважаємо, що наша продукція може принести вам передові технології та якісні рішення для продуктів.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Як професіонал Покриття з карбіду танталу виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Покриття з карбіду танталу, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.
Новини Рекомендації
Які відмінності між ізотропним графітом та кремнізованим графітом?
Які відмінності між ізотропним графітом та кремнізованим графітом?Дивитись більше >>
Як вирішити проблему спікання тріщин у карбідокремнієвій кераміці? - Напівпровідник VeTek
Як вирішити проблему спікання тріщин у карбідокремнієвій кераміці? - Напівпровідник VeTekДивитись більше >>
Що таке кварцовий човен?
Що таке кварцовий човен?Дивитись більше >>
Як підготувати CVD TAC покриття? - Ветессемікон
Як підготувати CVD TAC покриття? - ВетессеміконДивитись більше >>
Що таке графітовий човен PECVD?
Що таке графітовий човен PECVD?Дивитись більше >>
Скільки ви знаєте про CVD SIC? - напівпровідник Vetek
Скільки ви знаєте про CVD SIC? - напівпровідник VetekДивитись більше >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept