Веб-меню

Пошук продукту

Мова

Продукти

Покриття з карбіду танталу

VeTek semiconductor є провідним виробником матеріалів для покриття з карбіду танталу для напівпровідникової промисловості. Наші основні пропозиції продуктів включають деталі з покриттям з карбіду танталу CVD, деталі з покриттям зі спеченого TaC для вирощування кристалів SiC або процесу напівпровідникової епітаксії. Компанія VeTek Semiconductor пройшла стандарт ISO9001 і добре контролює якість. VeTek Semiconductor прагне стати інноватором у галузі покриття з карбіду танталу завдяки постійним дослідженням і розробці ітераційних технологій.


Основною продукцією єНапрямне кільце з покриттям TaC, Трипелюсткове напрямне кільце з покриттям CVD TaC, Напівмісяць із покриттям з карбіду танталу TaC, Планетарний епітаксіальний SiC-покриття CVD TaC, Кільце з покриттям з карбіду танталу, Пористий графіт з покриттям з карбіду танталу, Приймач обертання покриття TaC, Кільце з карбіду танталу, Обертова пластина з покриттям TaC, Пластина з покриттям TaC, Дефлекторне кільце з покриттям TaC, Покриття CVD TaC, Патрон із покриттям TaCтощо, чистота нижче 5 ppm, може задовольнити вимоги замовника.


Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Перевага показана на зображенні нижче:


Excellent properties of TaC coating graphite


Покриття з карбіду танталу (TaC) привернуло увагу завдяки своїй високій температурі плавлення до 3880°C, відмінній механічній міцності, твердості та стійкості до термічних ударів, що робить його привабливою альтернативою процесам епітаксії складних напівпровідників з вищими вимогами до температури. такі як система Aixtron MOCVD і процес епітаксії SiC LPE. Він також має широке застосування в процесі вирощування кристалів SiC методом PVT.


Ключові характеристики:

 ●Температурна стабільність

 ●Надвисока чистота

 ●Стійкість до H2, NH3, SiH4,Si

 ●Стійкість до термозапасу

 ●Сильна адгезія до графіту

 ●Конформне покриття покриття

 ● Розмір до 750 мм в діаметрі (єдиний виробник в Китаї досягає такого розміру)


Додатки:

 ●Вафельний носій

 ● Індуктивний нагрівач

 ● Резистивний нагрівальний елемент

 ●Супутниковий диск

 ●Лійка для душу

 ●Направляюче кільце

 ●LED Epi приймач

 ●Інжекторна насадка

 ●Маскувальне кільце

 ● Тепловий екран


Покриття з карбіду танталу (TaC) на мікроскопічному поперечному зрізі:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметр покриття з карбіду танталу VeTek Semiconductor:

Фізичні властивості покриття TaC
Щільність 14,3 (г/см³)
Питома випромінювальна здатність 0.3
Коефіцієнт теплового розширення 6.3 10-6/К
Твердість (HK) 2000 HK
опір 1×10-5Ом*см
Термостабільність <2500 ℃
Розмір графіту змінюється -10~-20 мкм
Товщина покриття Типове значення ≥20um (35um±10um)


Дані EDX покриття TaC：

EDX data of TaC coating


Дані кристалічної структури покриття TaC:

елемент Атомний відсоток
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Середній
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Посібник з покриття TAC

Посібник з покриття TAC

Як провідний виробник TAC -покриття Кільцеві продукти в Китаї, кілець з кістками з покриттям TAC Vetek є важливими компонентами обладнання MOCVD, забезпечуючи точну та стабільну доставку газу під час епітаксіального росту, і є незамінним матеріалом при напівпровідниковому епітаксіальному зростанні. Ласкаво просимо, щоб проконсультуватися з нами.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Кільце з покриттям карбіду Tantalum

Кільце з покриттям карбіду Tantalum

Як професійний новатор та лідер кільцевих продуктів з покриттям карбіду Tantalum, напівпровідник Tantalum з покриттям карбіду Vetek відіграє незамінну роль у зростанні кристалів SIC з його відмінною високою температурою, стійкістю до зносу та відмінною термічною провідністю. Ласкаво просимо свою подальшу консультацію.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Пористий карбід

Пористий карбід

Vetek Semiconductor - професійний виробник і лідер пористої продукції карбіду Tantalum в Китаї. Пористий карбід Tantalum зазвичай виготовляється методом хімічного осадження пари (CVD), забезпечуючи точний контроль розміру та розподілу пор, і є матеріальним інструментом, присвяченим екстремальним середовищам високої температури. Ласкаво просимо свою подальшу консультацію.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Направляюче кільце покриття TaC

Направляюче кільце покриття TaC

Кільце направляючого крок -покриття Vitek Semiconductor створюється шляхом застосування покриття карбіду Tantalum на графітові деталі за допомогою високодоступної техніки під назвою хімічне осадження пари (CVD). Цей метод добре встановлений і пропонує виняткові властивості покриття. Використовуючи посібник з покриття TAC, термін експлуатації графітових компонентів може бути значно розширений, рух графітових домішок може бути придушений, а монокристалічну якість SIC та AIN можна надійно підтримувати. Ласкаво просимо до розслідування нас.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Кільце карбіду Tantalum

Кільце карбіду Tantalum

Як вдосконалений виробник та виробник продуктів з карбіду Tantalum Carbide в Китаї, кілець з карбіду Tantalum Tantalum Vetek має надзвичайно високу твердість, стійкість до зносу, високу температуру та хімічну стійкість, і широко використовується у напівпровідниковому виробничому полі. Особливо в процесі ССЗ, ПВД, процесу імплантації іонів, процесу травлення та переробки та транспортування вафель, це незамінний продукт для переробки та виготовлення напівпровідників. З нетерпінням чекаємо вашої подальшої консультації.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Підтримка покриття карбіду Tantalum

Підтримка покриття карбіду Tantalum

Як професійний виробник продукту та фабрику з карбіду Tantalum, а завод у Китаї, підтримка покриття карбіду Vetek Tantalum зазвичай використовується для поверхневого покриття структурних компонентів або компонентів підтримки в напівпровідниковому обладнанні, особливо для захисту поверхневих компонентів обладнання в процесах виробництва напівпровідників, таких як CVD та PVD. Ласкаво просимо свою подальшу консультацію.
Дивитись більше >> Надіслати запит >>
Як професіонал Покриття з карбіду танталу виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Покриття з карбіду танталу, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.
Новини Рекомендації
Від виробничого процесу електростатичних присосних чашок до виробників масового виробництва
Від виробничого процесу електростатичних присосних чашок до виробників масового виробництваДивитись більше >>
Чи може ізотропний графіт протистояти екстремальному теплу у високотемпературних печах
Чи може ізотропний графіт протистояти екстремальному теплу у високотемпературних печахДивитись більше >>
Дослідницьке застосування технології 3D-друку в напівпровідниковій промисловості
Дослідницьке застосування технології 3D-друку в напівпровідниковій промисловостіДивитись більше >>
Застосування та дослідження кераміки карбіду кремнію в галузі фотоелектрики - напівпровідник Vetek
Застосування та дослідження кераміки карбіду кремнію в галузі фотоелектрики - напівпровідник VetekДивитись більше >>
Що таке кераміка SIC?
Що таке кераміка SIC?Дивитись більше >>
Чи знаєте ви про Mocvd Haverscepor?
Чи знаєте ви про Mocvd Haverscepor?Дивитись більше >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept