Продукти

Покриття з карбіду танталу

VeTek semiconductor є провідним виробником матеріалів для покриття з карбіду танталу для напівпровідникової промисловості. Наші основні пропозиції продуктів включають деталі з покриттям з карбіду танталу CVD, деталі з покриттям зі спеченого TaC для вирощування кристалів SiC або процесу напівпровідникової епітаксії. Компанія VeTek Semiconductor пройшла стандарт ISO9001 і добре контролює якість. VeTek Semiconductor прагне стати інноватором у галузі покриття з карбіду танталу завдяки постійним дослідженням і розробці ітераційних технологій.


Основною продукцією єНапрямне кільце з покриттям TaC, Трипелюсткове напрямне кільце з покриттям CVD TaC, Напівмісяць із покриттям з карбіду танталу TaC, Планетарний епітаксіальний SiC-покриття CVD TaC, Кільце з покриттям з карбіду танталу, Пористий графіт з покриттям з карбіду танталу, Приймач обертання покриття TaC, Кільце з карбіду танталу, Обертова пластина з покриттям TaC, Пластина з покриттям TaC, Дефлекторне кільце з покриттям TaC, Покриття CVD TaC, Патрон із покриттям TaCтощо, чистота нижче 5 ppm, може задовольнити вимоги замовника.


Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Перевага показана на зображенні нижче:


Excellent properties of TaC coating graphite


Покриття з карбіду танталу (TaC) привернуло увагу завдяки своїй високій температурі плавлення до 3880°C, відмінній механічній міцності, твердості та стійкості до термічних ударів, що робить його привабливою альтернативою процесам епітаксії складних напівпровідників з вищими вимогами до температури. такі як система Aixtron MOCVD і процес епітаксії SiC LPE. Він також має широке застосування в процесі вирощування кристалів SiC методом PVT.


Ключові характеристики:

 ●Температурна стабільність

 ●Надвисока чистота

 ●Стійкість до H2, NH3, SiH4,Si

 ●Стійкість до термозапасу

 ●Сильна адгезія до графіту

 ●Конформне покриття покриття

 Розмір до 750 мм в діаметрі (єдиний виробник в Китаї досягає такого розміру)


Додатки:

 ●Вафельний носій

 ● Індуктивний нагрівач

 ● Резистивний нагрівальний елемент

 ●Супутниковий диск

 ●Лійка для душу

 ●Направляюче кільце

 ●LED Epi приймач

 ●Інжекторна насадка

 ●Маскувальне кільце

 ● Тепловий екран


Покриття з карбіду танталу (TaC) на мікроскопічному поперечному зрізі:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Параметр покриття з карбіду танталу VeTek Semiconductor:

Фізичні властивості покриття TaC
Щільність 14,3 (г/см³)
Питома випромінювальна здатність 0.3
Коефіцієнт теплового розширення 6.3 10-6
Твердість (HK) 2000 HK
опір 1×10-5Ом*см
Термостабільність <2500 ℃
Розмір графіту змінюється -10~-20 мкм
Товщина покриття Типове значення ≥20um (35um±10um)


Дані EDX покриття TaC

EDX data of TaC coating


Дані кристалічної структури покриття TaC:

елемент Атомний відсоток
Пт. 1 Пт. 2 Пт. 3 Середній
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
М 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Кільце з покриттям карбіду Tantalum

Кільце з покриттям карбіду Tantalum

Як професійний новатор та лідер кільцевих продуктів з покриттям карбіду Tantalum, напівпровідник Tantalum з покриттям карбіду Vetek відіграє незамінну роль у зростанні кристалів SIC з його відмінною високою температурою, стійкістю до зносу та відмінною термічною провідністю. Ласкаво просимо свою подальшу консультацію.
Пористий карбід

Пористий карбід

Vetek Semiconductor - професійний виробник і лідер пористої продукції карбіду Tantalum в Китаї. Пористий карбід Tantalum зазвичай виготовляється методом хімічного осадження пари (CVD), забезпечуючи точний контроль розміру та розподілу пор, і є матеріальним інструментом, присвяченим екстремальним середовищам високої температури. Ласкаво просимо свою подальшу консультацію.
Направляюче кільце покриття TaC

Направляюче кільце покриття TaC

Кільце направляючого крок -покриття Vitek Semiconductor створюється шляхом застосування покриття карбіду Tantalum на графітові деталі за допомогою високодоступної техніки під назвою хімічне осадження пари (CVD). Цей метод добре встановлений і пропонує виняткові властивості покриття. Використовуючи посібник з покриття TAC, термін експлуатації графітових компонентів може бути значно розширений, рух графітових домішок може бути придушений, а монокристалічну якість SIC та AIN можна надійно підтримувати. Ласкаво просимо до розслідування нас.
Кільце карбіду Tantalum

Кільце карбіду Tantalum

Як вдосконалений виробник та виробник продуктів з карбіду Tantalum Carbide в Китаї, кілець з карбіду Tantalum Tantalum Vetek має надзвичайно високу твердість, стійкість до зносу, високу температуру та хімічну стійкість, і широко використовується у напівпровідниковому виробничому полі. Особливо в процесі ССЗ, ПВД, процесу імплантації іонів, процесу травлення та переробки та транспортування вафель, це незамінний продукт для переробки та виготовлення напівпровідників. З нетерпінням чекаємо вашої подальшої консультації.
Підтримка покриття з карбіду танталу

Підтримка покриття з карбіду танталу

VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support є професійним виробником і заводом у Китаї. Підтримка покриття з карбіду танталу зазвичай використовується для покриття поверхні структурних компонентів або опорних компонентів у напівпровідниковому обладнанні, особливо для захисту поверхні ключових компонентів обладнання в процесах виробництва напівпровідників, таких як CVD та PVD. Ласкаво просимо до подальшої консультації.
Кільце направляючого карбіду Tantalum

Кільце направляючого карбіду Tantalum

Vetek Semiconductor - професійний виробник та лідер Tantalum Carbide Pude Ring Ring Ring у Китаї. Наше керівне кільце з карбіду Tantalum (TAC)-це високоефективний кільцевий компонент, виготовлений з карбіду Tantalum, який зазвичай використовується в напівпровідниковому обладнанні, особливо у високотемпературних та висококорозійних середовищах, таких як ССЗ, ПВД, травлення та дифузія. Vetek Semiconductor прагне надати передові технології та рішення для продуктів для напівпровідникової галузі та вітає ваші подальші запити.
Як професіонал Покриття з карбіду танталу виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Покриття з карбіду танталу, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept