Кільце з покриттям TAC

Кільце з покриттям Veteksemi TAC - це високоефективний компонент, призначений для виробничих процесів напівпровідників. Його унікально розроблене покриття карбіду з танталу (TAC) надає продукту відмінну високу стійкість до температури, корозійну стійкість та механічну стійкість, що значно покращує термін служби та надійність графітових компонентів у напівпровідниковому обладнанні.

Вища продуктивність покриття карбіду Tantalum:

● Надвисока температурна стійкість: TAC покриття може легко витримати екстремальні температури до 2200 ° C і залишатися стабільними в умовах теплового удару, поширених у виробництві напівпровідників.

● Відмінна хімічна стабільність: Покриття демонструє сильну стійкість до поширених корозійних газів, таких як водень, аміак, силан та кремній, ефективно захищаючи субстрат від хімічної атаки.

● Відмінні механічні властивості: покриття TAC має високу твердість, високу стійкість до зносу та хорошу стійкість до теплового удару, і може тривалий час працювати в суворих умовах.

● Відмінна адгезія: покриття щільно пов'язане з графітовою підкладкою, ефективно запобігаючи відшаруванням покриття та забезпечуючи послідовну продуктивність протягом усього терміну служби продукту.

● Висока чистота: TAC покриття, підготовлене CVD, має надзвичайно високу чистоту, що мінімізує введення домішок і забезпечує чисте технологічне середовище для виробництва напівпровідників.

Переваги кілець з покриттям карбіду Tantalum:

● Розширене термін експлуатації обладнання: TAC покриття ефективно блокує хімічні реакції та дифузію домішок, значно розширюючи термін служби графітових компонентів та зменшуючи витрати на обслуговування.

● Підвищити ефективність виробництва: Висока температура продукту та резистентність до корозії дозволяють йому працювати в більш вимогливих умовах, скорочуючи виробничий цикл та збільшуючи виробничі потужності.

● Покращена якість продукції: Покриття TAC з високою чистотою допомагає зменшити забруднення, забезпечуючи якість та послідовність напівпровідникових продуктів.

Vetek Semiconductor спеціалізувався на продуктах TAC, таких якTAC покриття Чак, ТАК покриття обертання, TAC -підпірка для покриття, Так з покриттям вафельпротягом багатьох років. Наші кільцеві продукти з покриттям TAC мають функції термін експлуатації розширеного обладнання, підвищення ефективності виробництва та покращення якості продукції. У той же час, напівпровідник Vetek вже давно прагне надати передові технології та продуктові рішення для напівпровідникової галузі. 

Завдяки різним хімічним властивостям графітових та танталів карбідних матеріалів, коефіцієнт теплового розширення не збігається, і легко нагріватися при високій температурі напівпровідником Vetek за допомогою конкретного процесу сприяти утворенню танталу карбіду, частково нанесеним на поверхню матриці, і частково проживало в графіт. Таким чином, покриття карбіду Tantalum щільно вкладений у графітову матрицю через зростання на місці, що значно збільшує силу зв'язування між покриттям та матрицею і ефективно запобігає лушції на карбіду в Танталі.

Магазини кілець з покриттям карбіду Tantalum: