Вейко Mocvd нагрівач

Нагрівач VeTeksemi VEECO MOCVD виготовлений із графітового матеріалу високої чистоти з вмістом домішок, який суворо контролюється нижче 5 ppm, і покритий карбідом кремнію надвисокої чистоти (SiC) із чистотою понад 99,99995% черезХімічний процес осадження пари (CVD). Ця комбінація матеріалів надає обігрівачу ряд ключових властивостей, які забезпечують його відмінну роботу вметалоорганічне хімічне осадження з парової фази (MOCVD)процес.

Однією з видатних особливостей нагрівача Veeco Mocvd є його надзвичайна хімічна чистота. Графітове ядро ​​високої чистоти значно зменшує потенційне введення забруднень у високотемпературному процесі, забезпечуючи процес осадження ультразвуку плівки. ЗCVD покриття SiCзабезпечує додатковий захист для нагрівача, утворюючи сильний бар'єр для запобігання хімічних реакцій, які можуть пошкодити якість плівки. Ця безпрецедентна чистота має важливе значення для виготовлення високоефективних, надійних напівпровідникових пристроїв.

У той же час, нагрівач демонструє надзвичайно високу термічну стабільність та ефективність. SIC має високу температуру плавлення та відмінну теплопровідність, що дозволяє нагрівача ефективно керувати та проводити тепло. Це забезпечує рівномірне нагрівання через підкладку, що, в свою чергу, допомагає досягти рівномірного осадження плівки та зменшити дефекти, спричинені тепловими градієнтами. Така теплова ефективність особливо важлива для точного виготовлення.

Обігрівач VEECO MOCVD також відрізняється електричними характеристиками. Його високочистий графітовий сердечник має чудову електропровідність, що дозволяє нагрівачу витримувати високі вимоги до електричного навантаження. Ці стабільні електричні характеристики дозволяють нагрівачу підтримувати точний контроль температури та швидкості осадження в умовах високого навантаження, що має вирішальне значення для забезпечення стабільних умов процесу та підвищення ефективності виробництва напівпровідників.

Конструкція поверхні нагрівача була ретельно оптимізована, щоб мати високу випромінювання субстрату, що значно підвищує ефективність випромінювання теплопередачі. Здатність рівномірно нагріватися є ключовим фактором у забезпеченні послідовної товщини та характеристик осадження плівки. Висока конструкція поверхні викидів також покращує загальну теплову ефективність нагрівача, тим самим зменшуючи споживання енергії та знижуючи експлуатаційні витрати.

З точки зору довговічності, нагрівач VeTeksemi VEECO MOCVD демонструє чудову стійкість до корозії, стійкість до окислення та механічну міцність. Покриття CVD SiC забезпечує надійний бар’єр для корозійних газів і хімічних речовин, поширених у процесах MOCVD, тим самим подовжуючи термін служби обладнання та зменшуючи потреби в технічному обслуговуванні та витрати на заміну. Його стійкість до окислення гарантує, що нагрівач залишається стабільним при високих температурах без погіршення продуктивності, забезпечуючи тривалу стабільність.

Крім того, висока механічна міцність нагрівача VeTeksemi MOCVD дозволяє йому витримувати фізичні навантаження, що виникають під час термічного циклу та обробки підкладки. Його міцність знижує ризик механічних пошкоджень і забезпечує надійну роботу обладнання в жорстких умовах процесу.

Як передовий виробник і постачальник обігрівачів VEECO MOCVD, VeTeksemi також пропонує різноманітні високоякісні обігрівачі, такі якНагрівач покриття TAC, Графітовий нагрівач з кремнію з карбіду з керамічним покриттям, нагрівач з керамічним покриттям з карбіду кремніюі т. д. Vetek Semiconductor зобов’язаний забезпечити розширені та настроювані технології та рішення для продуктів для напівпровідникової галузі. Ми щиро сподіваємось бути вашим довгостроковим партнером у Китаї.