Графітовий нагрівач з кремнію з карбіду з керамічним покриттям

Це напівпровідник Графітовий нагрівач з кремнію з карбіду з керамічним покриттямПоєднує чудову електричну та теплопровідність графіту з високою температурною стійкістю, стійкістю до корозії та зносостійкістю вуглецевого керамічного покриття кремнію, і призначений для суворих напівпровідникових середовищ. 

Графітовий нагрівач з кремнію з карбіду з керамічним покриттямв основному використовується у вакуумному покритті (випаровуванні) обладнання, а методи, які зазвичай використовуються, - це PCD (хімічна сушка в плазмі) та PVD (фізичне осадження пари). Цей продукт відіграв важливу роль у просуванні технологічного прогресу та підвищенні ефективності виробництва в напівпровідниковій галузі.Ми щиро сподіваємось на подальшу співпрацю з вами.

Матеріальні та структурні особливості графітового нагрівача з керамічного покриття кремнію є наступним:

Графітова підкладка: Графіт відомий своєю високою теплопровідністю та низьким коефіцієнтом теплового розширення. Він може швидко реагувати на зміни температури та підтримувати структурну стабільність при високих температурах.

Кремнієве вуглецеве керамічне покриття: Покриття SIC рівномірно покрито на поверхні графіту за допомогою хімічного осадження пари або інших вдосконалених процесів. SIC має надзвичайно високу твердість та хімічну корозійну стійкість, яка може захистити графітову субстрат від окислення високої температури та корозійного середовища.

Спеціальна структурна конструкція кремнієвого карбідного керамічного покриття графітового нагрівача визначаєНезамінні переваги продукту цього продукту в процесі напівпровідникової обробки:

Ефективне та рівномірне нагрівання:

Теплопровідність: Висока теплопровідність графіту дозволяє нагрівачеві швидко досягти та підтримувати необхідну температуру, а покриття SIC забезпечує рівномірний розподіл тепла. Це особливо важливо для напівпровідникових процесів, які потребують точного контролю температури, таких як швидка термічна обробка (RTP) та хімічне осадження пари (ССЗ).

Температурна рівномірність: Завдяки рівномірному розподілу тепла, графітовий нагрівач з керамічного покриття кремнію може ефективно зменшити градієнт теплового напруги та температури, забезпечуючи консистенцію та стабільність якості напівпровідникових вафель протягом усього процесу нагріву.

Антикорозійний захист:

Хімічна стійкість: Хімічна корозійна стійкість покриття SIC дозволяє нагрівачеві стабільно працювати і тривалий час у корозійному газовому та хімічному середовищі, уникаючи пошкодження графітової підкладки. Ця особливість є особливо критичною для таких процесів, як хімічне осадження пари (ССЗ) та підсилення хімічного осадження пари в плазмі (PECVD).

Окислювальна стійкість: При високих температурах покриття SIC може запобігти окисленню графітової підкладки, продовжити термін служби нагрівача та зменшити частоту та вартість обслуговування обладнання.

Зменшити забруднення частинок:

Поверхнева стабільність: Покриття SIC не тільки стійке до зносу, але й запобігає падінню частинок з поверхні матеріалу через теплову цикліку або хімічні реакції, тим самим знижуючи ризик забруднення частинок, який може відбуватися під час виробництва напівпровідників та забезпечення середовища процесу високої чистоти.

Підвищити надійність та ефективність процесів:

Дизайн довгого життя: Завдяки поєднанню механічної міцності графіту та стійкості зносу покриття SIC, графітовий нагрівач з керамічного покриття кремнію може тривалий час підтримувати високоефективну експлуатацію в суворих умовах, що значно покращує загальну надійність обладнання.

Ефективне використання енергії: Висока теплопровідність графіту та високотемпературна стабільність покриття SIC дозволяють нагрівачеві зменшити споживання енергії, одночасно покращуючи точність контролю температури, тим самим підвищуючи загальну ефективність виробництва напівпровідників.

Основні фізичні властивостіГрафітовий нагрівач з кремнію з карбіду з керамічним покриттям:

Це напівпровідникГрафітовий нагрівач з кремнію з карбіду з керамічним покриттяммагазини:

Огляд напівпровідникового ланцюга епітакси:

/Інший процес