CVD SIC покриття нагрівання

Елемент нагрівання CVD SIC в основному використовується в обладнанні PVD (фізичне осадження пари). У процесі випаровування матеріал нагрівається для досягнення випаровування або розпилення, і нарешті на субстрат утворюється рівномірна тонка плівка.

Ⅰ.Конкретна заявка

Осадження тонкої плівки: нагрівальний елемент покриття CVD використовується в джерелі випаровування або джерела розпилення. Нагріваючи, елемент нагріває матеріал, який повинен бути осаджений на високу температуру, так що його атоми або молекули відокремлюються від поверхні матеріалу, утворюючи тим самим пари або плазми. Наше покриття SIC на основі нагрівання також може безпосередньо нагрівати деякі металеві або керамічні матеріали для випаровування або сублімату у вакуумному середовищі для використання в якості джерела матеріалу в процесі PVD. Оскільки конструкція має концентричні канавки, вона може краще контролювати поточний шлях та розподіл тепла, щоб забезпечити рівномірність нагрівання.

Схематична схема процесу випаровування ПВД

Ⅱ.Принцип роботи

Опір, коли струм проходить через шлях опору нагрівача з покриттям SIC, генерується тепло Джоула, тим самим досягаючи ефекту нагрівання. Концентрична структура дозволяє рівномірно розподіляти струм. Пристрій управління температурою зазвичай підключається до елемента для моніторингу та регулювання температури.

Ⅲ.Матеріал та структурний дизайн

Елемент нагрівання CVD SIC виготовлений з графіту високої чистоти та покриття SIC, щоб впоратися з високим температурним середовищем. Сам графіт високої чистоти широко використовувався як матеріал теплового поля. Після того, як на поверхні графіту наноситься шар покриття методом ССЗ, його високотемпературна стійкість, корозійна стійкість, теплова ефективність та інші характеристики додатково покращуються.

Конструкція концентричних канавок дозволяє струму утворювати рівномірну петлю на поверхні диска. Він досягає рівномірного розподілу тепла, уникає місцевого перегріву, спричиненого концентрацією в певних областях, зменшує додаткові втрати тепла, спричинені концентрацією струму, і, таким чином, підвищує ефективність нагріву.

Нагріваючий елемент покриття CVD складається з двох ніг і тіла. Кожна нога має нитку, яка підключається до джерела живлення. Напівпровідник Vetek може робити цілу частину або розщеплені частини, тобто ноги та тіло виготовляються окремо, а потім збираються. Незалежно від того, які вимоги ви маєте для нагрівача з покриттям CVD, будь ласка, проконсультуйтеся з нами. Veteksemi може забезпечити необхідні вам продукти.

Основні фізичні властивості покриття CVD SIC: