Силіконовий карбід вафля

Ветек напівпровідниковий карбід Carbide Chuck використовує чудові властивості матеріалів карбіду кремнію для задоволення суворих вимог виробництва напівпровідників, особливо в напівпровідниковій обробці, яка вимагає надзвичайно високої точності та надійності.

У процесі обробки напівпровідника,Карбід кремніюмає відмінну високотемпературну стійкість (може працювати стабільно при 1400 ° C), низька провідність (SIC має відносно низьку провідність, як правило, 10^^-3S/M) та низький коефіцієнт теплового розширення (приблизно 4,0 × 10^^-6/° C), що є незамінним і важливим матеріалом, особливо придатним для виготовлення вафельного патрона кремнію.

Під часПроцес епітаксіального росту, тонкий шар напівпровідникового матеріалу осаджується на підкладці, що вимагає абсолютної стабільності з пластини для забезпечення рівномірних та високоякісних шарів осадження плівки. Вакуум SIC досягає цього, створюючи твердий, послідовний вакуумний утримання, щоб запобігти будь -якому руху або деформації пластини.

Пачер з вафельним карбідом кремнію також пропонує відмінну стійкість до теплового удару. Швидкі зміни температури поширені у виробництві напівпровідників, а матеріали, які не можуть витримати, ці коливання можуть тріснути, згинати або провалюватися. Карбід кремнію має низький коефіцієнт теплового розширення і може підтримувати свою форму та функціонування навіть при різких змінах температури, гарантуючи, що пластина залишається захищеною під час процесу епітакси без руху чи нерівності.

Більше того,Процес епітаксиЧасто передбачає реактивні гази та інші корозійні хімічні речовини. Хімічна інертність чак -вафель SIC забезпечує, що на нього не впливає ці суворі середовища, підтримка його ефективності та продовження терміну служби. Ця хімічна довговічність не тільки знижує частоту заміни вафельного чак, але й забезпечує постійну продуктивність продукції протягом декількох виробничих циклів, допомагаючи підвищити загальну ефективність та економічну ефективність процесу виробництва напівпровідників.

Vetek Semiconductor - провідний виробник та постачальник виробів з вафельних вафель кремнію в Китаї. Ми можемо забезпечити різні види продуктів Chuck, такі якПористий керамічний Чак SIC, Пористий вакуум SIC, Пористий керамічний вакуумний патроніЧак з покриттямі т. д. Vetek Semiconductor зобов’язаний надавати передові технології та рішення продуктів для напівпровідникової галузі. Ми щиро сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Дані SEM CVDКристалічна структура плівки SIC：

Ветек напівпровідниковий кремнію карбіду вафель：