Керамічне покриття з кремнію

Це напівпровідник Керамічне покриття з кремнію-це високоефективне захисне покриття, виготовлене з надзвичайно твердого та зносостійкого кремнієвого карбіду (SIC), який забезпечує відмінну хімічну корозійну стійкість та високу температуру. Ці властивості мають вирішальне значення для виробництва напівпровідників, тому керамічне покриття кремнію в кремнію широко використовується на ключових компонентах обладнання для виробництва напівпровідників.

Специфічна роль, яку відіграє напівпровідникове кремнієве керамічне покриття з кремнію в напівпровідникові виробництва, єнаступним чином:

Підвищити довговічність обладнання: Керамічне покриття з карбіду кремнію забезпечує відмінний захист поверхні для виробничого обладнання напівпровідника з надзвичайно високою твердістю та стійкістю до зносу. Особливо у високотемпературних, високорерозійних процесів, таких як хімічне осадження пари (ССЗ) та травлення в плазмі крові, кремнієве карбідне керамічне покриття може ефективно запобігти пошкодженню поверхні обладнання внаслідок хімічної ерозії або фізичного зносу, тим самим значно розширюючи термін експлуатації обладнання та скорочення часу, що спричиняє часткову заміну та підтримку.

Покращити чистоту процесу: У процесі виготовлення напівпровідників будь -яке крихітне забруднення може спричинити дефекти продукту. Хімічна інертність керамічного покриття з карбіду кремнію дозволяє йому залишатися стабільним в екстремальних умовах, запобігти вивільненню матеріалу частинок або домішок та забезпечити чистоту навколишнього середовища під час процесу. Це особливо важливо для виготовлення етапів, які потребують високої точності та високої чистоти, наприклад, імплантація PECVD та іонів.

Оптимізувати теплове управління: У високотемпературній напівпровідниковій обробці, таких як швидка термічна обробка (RTP) та процеси окислення, висока теплопровідність керамічного покриття карбіду кремнію забезпечує рівномірне розподіл температури всередині обладнання. Це допомагає зменшити термічну напругу та деформацію матеріалу, спричинену коливаннями температури, тим самим покращуючи точність та послідовність виробництва продукції.

Підтримуйте складне середовище процесу: У процесах, які потребують складного контролю атмосфери, таких як процеси травлення ICP та травлення PSS, стійкість та окислювальна стійкість кремнієвого нагрівача з керамічним покриттям кремнію забезпечують стабільну продуктивність обладнання в довгостроковій експлуатації, зменшуючи ризик деградації матеріалів або пошкодження обладнання через зміни навколишнього середовища.

Це напівпровідникзосереджується на виробництві та постачанні високоефективнихКерамічне покриття з кремнію, і прагне надати передові технології та рішення продуктів для напівпровідникової галузі.Ми щиро сподіваємось бути вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Основні фізичні властивостіКерамічне покриття з кремнію:

Напівпровідникові кремнієві покриття кремнію Vitek:

Огляд напівпровідникового ланцюга епітакси: