Керамічний нагрівач з керамічним покриттям карбіду кремнію

Це напівпровідникКерамічний нагрівач з керамічним покриттям карбіду - це нагрівач, призначений для високої температури та суворих середовищ. Він покриває шар кремнієвого вуглецевого керамічного покриття (SIC) на поверхні нагрівальний елемент, щоб надати обладнання відмінну теплову стійкість, корозійну стійкість та теплопровідність. 

Керамічний нагрівач з керамічним покриттям карбіду кремніюв основному використовується у вакуумному покритті (випаровуванні) обладнання. Загально застосовувані методи-ПКД (хімічна сушка в плазмі) та PVD (фізичне осадження пари), які широко використовуються у виробництві напівпровідників та інших промислових програмах з високим попитом.

У поєднанні з високопродуктивним покриттям конструкції кремнієвого карбідного керамічного покриття,Це може забезпечити відмінне опалення для високотемпературних процесів.

Відмінна теплопровідність: SIC -матеріал має чудову теплопровідність, гарантуючи, що нагрівач міг досягти рівномірного розподілу тепла в робочій зоні та зменшити градієнти температури.

Забезпечити рівномірний розподіл тепла: Керамічний нагрівач з керамічним покриттям кремнію використовує високу теплопровідність матеріалу SIC для досягнення рівномірного розподілу температури по всій області нагріву. Це має вирішальне значення для забезпечення рівномірної термічної обробки напівпровідникових вафель у різних високотемпературних процесах, таких як швидка термічна обробка (RTP), дифузія та окислення, уникнення дефектів продукту, спричинених локальним перегрівом або нерівномірною температурою.

Висока температура: Покриття SIC дозволяє нагрівачеві витримувати надзвичайно високі температури, як правило, до 1600 ° C, що підходить для різних високотемпературних процесів обробки.

Поліпшити теплову стійкість: Оскільки покриття може витримати надзвичайно високу температуру, воно добре працює в процесах, які потребують довгострокової високотемпературної роботи. Наприклад, у процесах хімічного осадження пари (CVD) нагрівач керамічного покриття кремнію може забезпечити тривалу стабільну роботу обладнання при високих температурах та підтримувати постійні показники нагріву, тим самим покращуючи повторюваність та надійність процесу.

Хімічна корозійна стійкість: Покриття SIC має надзвичайно високу стійкість до кислот, лугу та корозійних газів, і може тривалий час залишатися стабільним у складному хімічному середовищі, що продовжує термін експлуатації обладнання. 

Продовження терміну експлуатації обладнання: Покриття SIC має відмінну стійкість до окислення та резистентність до корозії, і може ефективно протистояти хімічній ерозії та окисленні при високих температурах. Це дуже важливо в процесі виготовлення напівпровідників, особливо в середовищі, яке обробляє корозійні гази та хімічні речовини. Захисний ефект покриття може значно продовжити термін служби нагрівача та зменшити частоту витрат на заміну та обслуговування обладнання.

Основні фізичні властивості кремнієвого карбідного керамічного покриття:

Ветек напівпровідниковий кремнію карбіду керамічних нагрівачів:

Огляд ланцюга промисловості епітактики Vetek Epitaxy: