Продукти

Кераміка з карбіду кремнію

VeTek Semiconductor — ваш інноваційний партнер у сфері обробки напівпровідників. Завдяки нашому великому портфоліо напівпровідникових комбінацій матеріалів з карбіду кремнію, можливостям виробництва компонентів і послугам розробки прикладних програм ми можемо допомогти вам подолати значні труднощі. Інженерно-технічна кераміка з карбіду кремнію широко застосовується в напівпровідниковій промисловості завдяки своїм винятковим характеристикам матеріалу. Ультрачиста кераміка з карбіду кремнію VeTek Semiconductor часто використовується протягом усього циклу виробництва та обробки напівпровідників.


ДИФУЗІЯ ТА ОБРОБКА LPCVD

VeTek Semiconductor надає інженерні керамічні компоненти, спеціально розроблені для пакетної дифузії та вимог LPCVD, включаючи:

• Перегородки та тримачі
• Інжектори
• Вкладиші та технологічні труби
• Консольні лопаті з карбіду кремнію
• Вафельні кораблики і тумби


КОМПОНЕНТИ ПРОЦЕСУ ТРАВЛЕННЯ

Зведіть до мінімуму забруднення та позапланове технічне обслуговування за допомогою компонентів високої чистоти, розроблених для суворої обробки плазмовим травленням, зокрема:

Кільця фокусування

Насадки

Щити

Лійки для душа

Вікна / Кришки

Інші спеціальні компоненти


ШВИДКА ТЕРМІЧНА ОБРОБКА ТА КОМПОНЕНТИ ПРОЦЕСУ ЕПІТАКСІЇ

VeTek Semiconductor надає передові компоненти матеріалів, призначені для високотемпературної термічної обробки в напівпровідниковій промисловості. Ці програми охоплюють процеси RTP, Epi, дифузію, окислення та відпал. Наша технічна кераміка розроблена таким чином, щоб витримувати термічні удари, забезпечуючи надійну та стабільну роботу. За допомогою компонентів VeTek Semiconductor виробники напівпровідників можуть досягти ефективної та високоякісної термічної обробки, сприяючи загальному успіху виробництва напівпровідників.

• Дифузори

• Ізолятори

• Суцептори

• Інші спеціальні термокомпоненти


Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію
Власність Типове значення
Робоча температура (°C) 1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище)
Вміст SiC / SiC > 99,96%
Si / Вільний вміст Si < 0,1%
Насипна щільність 2,60-2,70 г/см3
Видима пористість < 16%
Міцність на стиск > 600 МПа
Міцність на холодний вигин 80-90 МПа (20°C)
Міцність на гарячий вигин 90-100 МПа (1400°C)
Теплове розширення @1500°C 4,70 10-6/°C
Теплопровідність @1200°C 23  Вт/м•К
Модуль пружності 240 ГПа
Стійкість до термічного удару Надзвичайно добре


View as  
 
SIC WAFER COAT

SIC WAFER COAT

Човен для вафель SIC використовується для перенесення пластини, головним чином для процесу окислення та дифузії, щоб переконатися, що температуру можна рівномірно розподіляти на поверхні вафлі. Висока температура та висока теплопровідність SIC матеріалів забезпечують ефективну та надійну напівпровідникову обробку. Vetek Semiconductor прагне забезпечити якісну продукцію за конкурентними цінами.
SiC технологічна труба

SiC технологічна труба

VeTek Semiconductor надає високоефективні технологічні трубки SiC для виробництва напівпровідників. Наші технологічні труби SiC відрізняються процесами окислення та дифузії. Завдяки високій якості та майстерності ці трубки забезпечують стійкість до високих температур і теплопровідність для ефективної обробки напівпровідників. Ми пропонуємо конкурентоспроможні ціни та прагнемо бути вашим довгостроковим партнером у Китаї.
SIC CALBILEVER PADDLE

SIC CALBILEVER PADDLE

Консольна пластина SiC від VeTek Semiconductor використовується в печах для термообробки для транспортування та підтримки вафельних човнів. Висока температурна стабільність і висока теплопровідність матеріалу SiC забезпечують високу ефективність і надійність процесу обробки напівпровідників. Ми прагнемо надавати високоякісні продукти за конкурентоспроможними цінами та сподіваємося стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
Вафельний човен з карбіду кремнію для горизонтальної печі

Вафельний човен з карбіду кремнію для горизонтальної печі

Пластина SiC має високі вимоги до чистоти матеріалу. Vetek Semiconductor постачає SiC з чистотою >99,96% перекристалізованого SiC для цього продукту. VeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником у Китаї пластини з карбіду кремнію для горизонтальної печі, з багаторічним досвідом у R&D та виробництва, може добре контролювати якість і пропонувати конкурентоспроможну ціну. Ви можете бути впевнені, купуючи у нас вафельний човен з карбіду кремнію для горизонтальної печі.
SIC з покриттям кремнію з вафельним човном

SIC з покриттям кремнію з вафельним човном

Вафельний човен з карбіду кремнію з покриттям SiC розроблено зі 165 слотами для перенесення пластин. Компанія VeTek Semiconductor є професійним виробником і постачальником у Китаї вафельного човен із карбіду кремнію з покриттям SiC, має багаторічний досвід у дослідженнях і розробках і виробництві, може добре контролювати якість і пропонувати конкурентоспроможну продукцію. ціна. Ласкаво просимо відвідати наш завод і провести подальше обговорення співпраці.
Силіконове карбідне консольне весло

Силіконове карбідне консольне весло

Ветек напівпровідниковий карбідний консольний весло для консольного карбіду є важливим компонентом у процесі виготовлення напівпровідників, особливо придатного для дифузійних печей або печей LPCVD у високотемпературних процесах, таких як дифузія та RTP. Наше кремнієве карбідне консольне весло ретельно розроблене та виготовлене з відмінною високотемпературною стійкістю та механічною міцністю, і може безпечно та надійно транспортувати платори до процесу в різких умовах процесів для різних високотемпературних процесів, таких як дифузія та RTP. Ми сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
Як професіонал Кераміка з карбіду кремнію виробник та постачальник у Китаї, у нас є власна фабрика. Незалежно від того, чи потрібні вам індивідуальні послуги, щоб задовольнити конкретні потреби вашого регіону або хочете придбати розширені та довговічні Кераміка з карбіду кремнію, зроблені в Китаї, ви можете залишити нам повідомлення.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept